隨著科技的迅猛發(fā)展,，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善,。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子,，汽車等各個行業(yè),，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度,、自動化,、寬程、等*方向發(fā)展,，這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成,。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,，以一定能量注入質(zhì)分析器,，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離,。

離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入,。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計組成組成,。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種,。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到,，因而具有較高的靈敏度,，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,，不會對系統(tǒng)有污染,，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品,。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,，污染工作環(huán)境,，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀,。