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A-9531-0250-04 RENISHAW光柵尺傳感器

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    英國RENISHAW雷尼紹光柵尺傳感器可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)

RENISHAW光柵尺,也稱為RENISHAW光柵尺位移傳感器RENISHAW光柵尺傳感器),,是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置,。RENISHAW光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,,具有檢測(cè)范圍大,,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn),。例如,,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來觀察和跟蹤走刀誤差,,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用,。RENISHAW光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵,。

RENISHAW光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。圖1所示的就是RENISHAW光柵尺的結(jié)構(gòu),。

光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,,它由光源、會(huì)聚透鏡,、指示光柵,、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭,、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭,、金屬光柵反射式讀數(shù)頭),。

莫爾條紋

以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,,并且兩個(gè)RENISHAW光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,,形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋” (圖2所示)。嚴(yán)格地說,,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示,。

W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ ,。

莫爾條紋具有以下特征:

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對(duì)移過一個(gè)柵距,莫爾條紋移過一個(gè)條紋距離,。由于光的衍射與干涉作用,,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),,變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下,,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,,θ的單位為rad,,W的單位為mm。由于傾角很小,,sinθ很小,,則

W=ω /θ

若ω =0.01mm,θ=0.01rad,,則上式可得W=1,,即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,,例如每毫米100線的光柵,,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,,消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差。

檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量,。高分辨率的RENISHAW光柵尺一般造價(jià)較貴,,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,,RENISHAW光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng),。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量,。

在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能,。例如,,柵線為50線對(duì)/mm的RENISHAW光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,,這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量,即要檢測(cè)其大小,,又要檢測(cè)其方向,,因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾,、直流分量和偶次諧波,,通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端,,從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,,為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖,需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,,首先把它們整形為占空比為1:1的方波,。然后,通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,,就可以得到RENISHAW光柵尺的移動(dòng)方向,。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù),可以得到RENISHAW光柵尺的位移和速度,。

RENISHAW光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,,可安裝在機(jī)床的不同部位。

一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)(滑板)上,,隨機(jī)床走刀而動(dòng),讀數(shù)頭固定在床身上,,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方,。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向,。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí),,則必須增加輔助密封裝置。另外,,一般情況下,,讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上,此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定,,而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上(如滑板),。

1、RENISHAW光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝RENISHAW光柵尺傳感器時(shí),,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上,,更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上,。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度,。千分表固定在床身上,移動(dòng)工作臺(tái),要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi),。如果不能達(dá)到這個(gè)要求,,則需設(shè)計(jì)加工一件RENISHAW光柵尺基座。

基座要求做到:(1)應(yīng)加一根與RENISHAW光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座(最好基座長(zhǎng)出RENISHAW光柵尺50mm左右),。(2)該基座通過銑,、磨工序加工,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi),。另外,,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm,。安裝時(shí),,調(diào)整讀數(shù)頭位置,達(dá)到讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,,讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右,。

2、RENISHAW光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上,,但不要上緊,,把千分表固定在床身上,移動(dòng)工作臺(tái)(主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)),。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度,,調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí),,把M2螺釘上緊,。

在安裝光柵主尺時(shí),應(yīng)注意如下三點(diǎn):

(1) 在裝主尺時(shí),,如安裝超過1.5M以上的光柵時(shí),,不能象橋梁式只安裝兩端頭,尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐,。(2)在有基座情況下安裝好后,,最好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)(或幾點(diǎn))。(3)不能安裝卡子時(shí),,最好用玻璃膠粘住RENISHAW光柵尺身,,使基尺與主尺固定好。

3,、RENISHAW光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝

在安裝讀數(shù)頭時(shí),,首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求,然后再安裝讀數(shù)頭,,其安裝方法與主尺相似,。最后調(diào)整讀數(shù)頭,,使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi),其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi),。

4,、RENISHAW光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后,一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置,,以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端,,從而損壞RENISHAW光柵尺。另外,,用戶在選購光柵線位移傳感器時(shí),,應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的RENISHAW光柵尺,以留有余量,。

5,、RENISHAW光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后,可接通數(shù)顯表,,移動(dòng)工作臺(tái),,觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。

在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置,,來回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置,。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同(或回零)。另外也可使用千分表(或百分表),,使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零(或記憶起始數(shù)據(jù)),,往返多次后回到初始位置,觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否一致,。

通過以上工作,,RENISHAW光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來講,,鐵屑、切削液及油污較多,。因此,,傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩,護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定,,護(hù)罩通常采用橡皮密封,,使其具備一定的防水防油能力 [2] 。

使用注意事項(xiàng)編輯 播報(bào)

(1)RENISHAW光柵尺傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時(shí)應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行,。

(2)盡可能外加保護(hù)罩,,并及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入RENISHAW光柵尺傳感器殼體內(nèi)部,。

(3)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng),。

(4)為延長(zhǎng)防塵密封條的壽命,可在密封條上均勻涂上一薄層硅油,注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上,。

(5) 為保證RENISHAW光柵尺傳感器使用的可靠性,,可每隔一定時(shí)間用乙醇混合液(各50%)清洗擦拭RENISHAW光柵尺面及指示光柵面,保持玻璃RENISHAW光柵尺面清潔,。

(6) RENISHAW光柵尺傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打,,以免破壞RENISHAW光柵尺,如RENISHAW光柵尺斷裂,,RENISHAW光柵尺傳感器即失效了,。

(7) 不要自行拆開RENISHAW光柵尺傳感器,更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對(duì)間距,,否則一方面可能破壞RENISHAW光柵尺傳感器的精度,;另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦,損壞鉻層也就損壞了柵線,,以而造成RENISHAW光柵尺報(bào)廢,。

(8) 應(yīng)注意防止油污及水污染RENISHAW光柵尺面,以免破壞RENISHAW光柵尺線條紋分布,,引起測(cè)量誤差,。

(9) RENISHAW光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作,以免腐蝕光柵鉻層及RENISHAW光柵尺表面,,破壞RENISHAW光柵尺質(zhì)量,。

合理選取RENISHAW光柵尺,正確使用使其物盡其能,;也有互相矛盾的一面,,安裝位置既要盡可能靠近驅(qū)動(dòng)軸線,又要盡量遠(yuǎn)離機(jī)床的發(fā)熱源(如絲杠副),,這就要看機(jī)床設(shè)計(jì)師,,怎樣兼顧折衷考慮各方面因素,綜合考慮RENISHAW光柵尺選型,、設(shè)計(jì),、安裝、捌試等因素,,得到比較合理的性價(jià)比,,勢(shì)必取得比較好的控制檢測(cè)效果。?通過以上幾個(gè)步驟的調(diào)試,,一臺(tái)數(shù)控機(jī)床一般都能獲得很好的位置精度(定位精度,、重復(fù)定位精度),達(dá)到機(jī)床設(shè)計(jì)要求,,能很容易滿足用戶的需求,,對(duì)數(shù)控機(jī)床的制造廠家和使用用戶有著非凡的現(xiàn)實(shí)意義,。




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