一,、高精度國產氣體質量流量控制器MFC 產品概述：

1、精度更高,，響應更快,，帶網口；

2,、管狀分流,，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道,；

4,、預熱時間短，零漂小,，可靠性高,；

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量,；

6,、數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus,、Devicenet等協(xié)議可選,；

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能,、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)

三,、高精度國產氣體質量流量控制器MFC 產品參數：

滿量程范圍：2SCCM～6000SLM

準 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復精度：±0.2%F.S

響應時間：流量計：＜0.1s； 流量控制器：<0.2s

數 字  量：RS232/485,，MODBUS協(xié)議

模 擬  量：0～5V,、4-20mA、1～5V

供       電：±15VDC,，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數：±0.025%F.S/℃

底座材質：不銹鋼

密封材質：氟橡膠,，氯丁橡膠，丁腈橡膠,，聚四氟乙烯,，FFKM/FFPM等

接       頭：φ3,，φ6,，1/8"，1/4",，3/8",，1/2"，1"… …卡套,、法蘭,、快插、寶塔等,。,。。

如果所需性能要求與上述性能不同,，可以溝通定制,。