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AT-200M Anric原子層沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 AT-200M
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/3/11 16:01:42
  • 訪問次數(shù) 847

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,,邁可諾從事開發(fā),、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的,、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功,。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,,追求豐富有意義的生活,。




勻膠機(jī),光刻機(jī),,顯影機(jī),,等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),,紫外固化箱,,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),,刻蝕機(jī),,加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣
  • 占地面積小的桌面系統(tǒng),兼容無塵室,。

  • 占地面積小的桌面系統(tǒng)(< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)

  • 具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,,用于集成惰性氣體吹掃。

  • 4 英寸圓形卡盤可定制,,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高),。

  • 3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。

  • 整個加熱管線(從前體到腔室),。

  • 高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式

  • 全鋁(半導(dǎo)體級)腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C

  • 7″ 觸摸屏 PLC 控制器(無需 PC)

  • 包括終身軟件升級

  • 1 年保修(包括零件)

  • AT610

  • 全鋁(半導(dǎo)體級)腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C

  • 具有超快 MFC 的高溫半導(dǎo)體級快速脈沖 ALD 閥,,用于集成惰性氣體吹掃。

  • 6″ 圓形卡盤(7″ 方形)可定制為更小的尺寸或其他形狀(11 毫米高),。

  • 流線型腔體設(shè)計(jì),,腔體體積小

  • 3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物,。

    • 前體可以加熱到 150°C。

  • 整個加熱管線(從前體到腔室),。

  • 簡單的系統(tǒng)維護(hù)和市場上的公用事業(yè)和前體使用

  • 高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式

  • 7″ 觸摸屏 PLC 控制器(無需 PC)







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