型號(hào)	Z2軸移動(dòng)范圍(mm)	Z1軸測(cè)量范圍(mm)	直線度(X軸水平姿勢(shì))
FTA-S4C3000	300	60(水平±30)	0.8μm/100mm
FTA-H4C3000	500	60(水平±30)	0.8μm/100mm
FTA-W4C3000	500	60(水平±30)	0.8μm/100mm
FTA-L4C3000	700	60(水平±30)	0.8μm/100mm
FTA-S8C3000	300	60(水平±30)	2μm/100mm
FTA-H8C3000	500	60(水平±30)	2μm/100mm
FTA-W8C3000	500	60(水平±30)	2μm/100mm
FTA-L8C3000	700	60(水平±30)	2μm/100mm

跟蹤角度

相對(duì)測(cè)針的進(jìn)給方向,，測(cè)針可以按照被測(cè)物的形狀上升或下降的極限角度叫做跟蹤角度,。

如圖,，測(cè)針頂端角度為12o的切面測(cè)針，上升角度77o,，下降角度87o,。

如果是圓錐形測(cè)針(30o圓錐)的話，極限傾斜度會(huì)變得緩和,。表面上看雖然是77o,，但是，受上行斜面表面粗糙度的影響,，會(huì)部分存在77o以上的斜面,，測(cè)力也會(huì)受到影響。

測(cè)針半徑補(bǔ)償

根據(jù)測(cè)針的頂端半徑(0.025mm),，記錄圖形會(huì)成為在測(cè)量物表面上滾動(dòng)的球體的中心軌跡,。通過(guò)對(duì)這一測(cè)針的頂端半徑進(jìn)行數(shù)據(jù)處理上的補(bǔ)償，可以得到精確的測(cè)量值和形狀記錄,。

精度

由于X和Z軸的檢出器配置了刻度,，放大倍率精度不顯示百分比但顯示各軸的直線位置精度。

圓弧運(yùn)動(dòng)·直線運(yùn)動(dòng)

這是測(cè)針上下動(dòng)作時(shí),，測(cè)頭劃出的軌跡,，有圓弧和直線兩種。

做直線運(yùn)動(dòng)時(shí),，機(jī)械構(gòu)造復(fù)雜,，做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí)，測(cè)針的上下移動(dòng)量較大,，會(huì)由于圓弧形變(δ)而導(dǎo)致記錄圖形出現(xiàn)偏差,。(參照下圖“圓弧形變”)

圓弧形變

測(cè)頭做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)在記錄圖形的X軸方向上出現(xiàn)變形偏差,。作為補(bǔ)償圓弧變形的手段有:

①機(jī)械補(bǔ)償法：

②電子補(bǔ)償法：

③通過(guò)軟件演算來(lái)補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ?/p>

在對(duì)上下方向上移動(dòng)量較大的測(cè)量物進(jìn)行高精度測(cè)量時(shí),，需要補(bǔ)償圓弧變形。

Z軸檢測(cè)方式

X軸驅(qū)動(dòng)檢測(cè)一般使用數(shù)字光柵尺進(jìn)行檢測(cè),。Z軸檢測(cè)方式有模擬方式(差動(dòng)變壓器)和數(shù)字光柵尺方式兩種,。模擬方式會(huì)因?yàn)闇y(cè)量倍率和測(cè)量范圍出現(xiàn)Z軸分辨力的變化。數(shù)字光柵尺則遵循光柵尺的分辨力,。一般來(lái)說(shuō),，數(shù)字光柵尺的方式精度較高。

安全裝置：

由于輪廓形狀的斜面角度大或者有毛刺存在,，測(cè)針頂端出現(xiàn)超負(fù)荷時(shí),，為了防止測(cè)針損傷，可以自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn),，并發(fā)出蜂鳴警報(bào),。

一般情況下,，按進(jìn)給方向(X軸方向)的負(fù)荷和上下方向(Z軸方向)的負(fù)荷分別裝備。如CV-3200/4500,，若支臂從檢出器的安裝面脫離下時(shí)會(huì)啟動(dòng)安裝裝置,。

輪廓形狀測(cè)量方法：

完成測(cè)量操作后，可以按照以下兩種方法之一分析輪廓形狀,。

數(shù)據(jù)處理裝置和解析程序,。

測(cè)得的輪廓形狀，實(shí)時(shí)輸入到數(shù)據(jù)處理裝置中,，然后通過(guò)鼠標(biāo)或鍵盤(pán)運(yùn)行專(zhuān)用的分析程序,。

角度、半徑,、段差,，和等間距用數(shù)值直接顯示。

另外還可以輕松地結(jié)合坐標(biāo)系進(jìn)行解析,。記錄圖形經(jīng)測(cè)針半徑補(bǔ)償后可打印輸出,。

擬合

當(dāng)被測(cè)量的輪廓形狀數(shù)據(jù)有標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，要根據(jù)基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)值的檢驗(yàn),。沒(méi)有基準(zhǔn)或只檢驗(yàn)形狀時(shí),，可以用設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)與測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合。

擬合從兩組數(shù)據(jù)來(lái)求偏差量,，求二次方的和為最小值的坐標(biāo)系,，使測(cè)量數(shù)據(jù)與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)重合。

設(shè)計(jì)值檢驗(yàn)

與其說(shuō)對(duì)圖形顯示的尺寸的解析,，不如說(shuō)是作為“形狀”與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的比較并顯示和記錄其偏差。另外,，將基準(zhǔn)測(cè)量物轉(zhuǎn)變成設(shè)計(jì)的數(shù)據(jù)與測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,。尤其當(dāng)這一部分的形狀影響商品性能的時(shí)候，或由于與組合部件的關(guān)系產(chǎn)生影響時(shí)使用較多,。

數(shù)據(jù)合成

由于測(cè)針跟蹤角度的限制,，測(cè)量圖形會(huì)被分割成多個(gè)部分分別進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估。數(shù)據(jù)合成功能解決了這個(gè)問(wèn)題,，可將其拼接合成為一個(gè)完整的圖形能,。

由此，可以被測(cè)物的整體圖形得以顯示,，從而進(jìn)行各種解析,。