一,、核心參數(shù)：  

價格區(qū)間：200萬-300萬  

儀器種類：電子束蒸發(fā)鍍膜機  

產(chǎn)地類別：國產(chǎn)  

應用領(lǐng)域：微電子學  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)：  

超高真空鍍膜設備專業(yè)制備約瑟夫森結(jié)制備,，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層,，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進樣室,、氬離子清洗室,、電子束蒸發(fā)室以及氧化室，共計四個高真空腔室,，腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣,，傳遞模組須采用抓取式設計；設備所有工藝均支持4英寸及以內(nèi)的晶圓或不規(guī)則樣品,。設備整個工藝過程,，可以按照用戶設置的參數(shù)自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空,，監(jiān)測氣壓,，離子清洗，樣品位置調(diào)節(jié),、傳樣,，加熱，電子束蒸發(fā)特定厚度設置,，自動調(diào)整氣壓等,。  

三、廈門韞茂科技有限公司為您提供超高真空鍍膜設備QBT-J的參數(shù),、價格,、型號、原理等信息,，QBT-J產(chǎn)地為福建,、品牌為韞茂，型號為QBT-J,，價格為200萬-300萬RMB,，更多相關(guān)信息可咨詢，公司客服電話7*24小時為您服務,。  

四,、售后服務：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現(xiàn)場技術(shù)咨詢：有  

免費培訓：1.設備出廠前，提供至少2人一周的設備原廠培訓,。2.設備在現(xiàn)場完成安裝調(diào)試  

免費儀器保養(yǎng)：有需要可安排

保內(nèi)維修承諾：保修期內(nèi)（除天災和人為損害外）部件,、元件費用,、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時我司將及時響應，并在8小時內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場解決故障

五,、技術(shù)參數(shù)：