特點

• 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設計的轉子軸,，實現高性能的排粉,。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行,。

用途

• 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),，如刻蝕設備、去膠設備,、等離子清洗設備等,。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐,、滲碳爐等,。

• 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備,、脫泡設備,、注液設備等。

• 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),，如冷凍干燥設備,、真空干燥設備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時也能發(fā)揮好的起動性能粘度較低,。
  為了發(fā)揮出泵的性能,，請盡量頻繁地對油進行更換,。

• 結構緊湊,，排氣量大,。

• 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求,。

• 內置自動復位型熱保護器等安全設計,。

• 大氣壓下可運作。

• 全壓力范圍可連續(xù)運作,。

• 結構簡單,，維護方便。

• 真空吸盤,，真空鑷子,。

• 自動設備上的吸附和轉移。

• 真空包裝印刷機,。

• 貼片機,。

如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動,，則可能無法重新啟動,。
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓,。

2　請不要吸入腐蝕性氣體,，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）,。
另外,，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。

3　泵的滑動材料會在運行過程中磨損,，產生磨損粉末,。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱,，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命,。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內使用,。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外,。

5　將泵固定在設備等上時，請務必安裝防振橡膠,。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8,。
另外，安裝在泵側的防振橡膠螺釘的長度不應超過10毫米,。