LH1000 鐳測科技雙頻激光干涉儀
- 公司名稱 北京鐳測科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 LH1000
- 產(chǎn)地 中國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/1/13 10:47:25
- 訪問次數(shù) 848
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件 | 激光類型 | HeNe正交線偏振雙頻激光 |
| 真空波長 | 632.9905nm | 出光功率 | 0.5-1.0mW |
| 雙頻頻差? | 1.0-20.0MHz(可定制更高頻差） | 穩(wěn)頻精度 | ±0.02ppm(life?time) |
鐳測科技雙頻激光干涉儀LH1000專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng),；
通過國家重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項目驗收,。
采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
非線性高精密測量系統(tǒng),，測量更精準(zhǔn),；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要,。
光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計,，方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)；
精巧的測量信號光纖接收頭,，即使空間狹小也能方便安裝,；
標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品,。
型號 | 頻差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 穩(wěn)頻精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
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