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STACIS Ⅲ 美國(guó)TMC主動(dòng)隔震臺(tái)

參考價(jià) 110000 100000
訂貨量 1 臺(tái) ≥2 臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳維爾克斯光電有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) STACIS Ⅲ
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2023/2/23 10:15:58
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1059

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維爾克斯光電(www.highlightoptics.com)專業(yè)代理歐美激光器、光譜儀,、光電測(cè)試分析儀器和光電元器件,。憑借強(qiáng)力的專業(yè)技術(shù)背景和多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),維爾克斯能夠滿足客戶不同的應(yīng)用要求,,精準(zhǔn)地為客戶提供高性價(jià)比的解決方案,,并保證設(shè)備及時(shí)安裝、調(diào)試和故障排除,。

我們提供自主開發(fā)的:微透鏡陣列,、分束鏡、工程散射片,、螺旋相位片,、結(jié)構(gòu)光模組、離軸拋物面鏡,、掃擺鏡,、中空回射器、太赫茲透鏡,、太赫茲窗口鏡,、分辨率板,、太赫茲鏡頭,、激光防護(hù)眼鏡,。

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美國(guó)Thorlabs,,Edmund離軸拋物面鏡,微透鏡,,激光防護(hù)鏡,;

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美國(guó)Dataray光斑分析儀,,光束分析儀,,M2儀,紅外光斑分析儀,;

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加拿大Gentec功率計(jì),,能量計(jì),太赫茲探測(cè)器,;

     

美國(guó)Chroma公司濾光片,、濾光片盒子、濾光片套裝,、FISH濾光片,、窄帶濾光片、拉曼濾光片,;

美國(guó)Adnover公司濾光片,,定制濾光片,超窄帶濾光片,;

德國(guó)BATOP可飽和吸收鏡,,SESAM,,可飽和吸收耦合輸出鏡,共振可飽和吸收鏡,,可飽和吸收體SA,,太赫茲聚焦鏡,激光芯片,,微芯激光器,;

德國(guó)B.Halle公司消色差波片、超寬帶消色差波片,;

美國(guó)Innovation Photonics中紅外聚焦鏡,中紅外隔離器,,紅外光纖,,紅外偏振片,光纖耦合透鏡,;

德國(guó)Layertec飛秒激光鏡片,,皮秒激光鏡片、寬帶鏡,、啁啾鏡,、GT干涉鏡;

美國(guó)DRO,,Design research optics二氧化碳鏡片,,ZnSe反射鏡,硒化鋅透鏡,,CO2合束鏡,、CO2分束鏡;

美國(guó)LRO,,Laser Research Optics分光鏡,、合束器、全反射鏡,、部分反射鏡,、金屬反射鏡、輸出耦合鏡,、零相位延遲片,、部分相位延遲片;

德國(guó)Femto Fiber公司布拉格光纖光柵,;

 

美國(guó)Minusk隔震臺(tái),,減震平臺(tái),精密隔振平臺(tái),,原子力顯微鏡隔振臺(tái),;

德國(guó)Marzhauser公司(MW)顯微鏡載物臺(tái),,手動(dòng)顯微鏡平移臺(tái);

英國(guó)PRIOR顯微鏡平臺(tái),,顯微鏡載物臺(tái),,顯微鏡電動(dòng)平臺(tái),納米電動(dòng)平臺(tái),,自動(dòng)上片機(jī),,自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng);

加拿大Zaber電控平移臺(tái),,線性致動(dòng)器,,旋轉(zhuǎn)臺(tái),真空平移臺(tái),,內(nèi)置編碼器和驅(qū)動(dòng)器的位移臺(tái);

法國(guó)Piezoconcept納米平臺(tái),,納米壓電平臺(tái);

芬蘭Sensapex微操作器,,微操作系統(tǒng),;

 

加拿大Sicencetech太陽(yáng)光模擬器,AA*太陽(yáng)光模擬器,,光伏測(cè)試系統(tǒng),,紅外光譜儀;

美國(guó)TTI公司C995光學(xué)斬波器,,光纖脈沖轉(zhuǎn)換器,,模擬信號(hào)收發(fā)器,O/E轉(zhuǎn)換模塊探測(cè)器,;

美國(guó)Phase Photonics紅外光譜儀,,中紅外光譜儀;

美國(guó)Scientech公司精密電子天平,,激光功率計(jì),;

 

荷蘭Anteryon CP-332/CP-544激光器,非球面鏡,;

德國(guó)Advanced Laser Diode Systems(ALSG)半導(dǎo)體皮秒激光器,,可單模光纖、單光子輸出,;

德國(guó)Frankfurt Laser公司各類激光器及激光配件,;

德國(guó)Alphalas公司激光器,可調(diào)諧波片,,寬帶可調(diào)波片,,超快探測(cè)器UPD;

美國(guó)Photonics Industries公司(PI)納秒激光器,,皮秒激光器,,高功率,,高能量;

日本Oxide公司266nm激光器,,波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器,,晶體,激光組件,;

立陶宛Eksma,,Ekspla公司光纖激光器,超短脈沖選擇器,,普克爾斯盒,;

 

美國(guó)Terasense太赫茲相機(jī),太赫茲源,, THz人體安檢儀,,超快太赫茲探測(cè)器;

德國(guó)Menlo公司飛秒光纖激光器,,太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng),飛秒激光同步激發(fā)的太赫茲光譜系統(tǒng),,光學(xué)頻率合成器,、光梳;

瑞士Rainbow Photonics太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)(1-14THz),,可調(diào)諧太赫茲源,,THz有機(jī)晶體;

俄羅斯Tydex公司太赫茲光學(xué)元件,、太赫茲透鏡,、太赫茲波片、TH分光片,、TH濾光片,、太赫茲衰減片、太赫茲衍射鏡片,,Golay Cell 高萊探測(cè)器,;

西班牙NIT,德國(guó)TrinamiX,,芬蘭Emberion,,英國(guó)Redwavelabs紅外探測(cè)器。

 

俄羅斯SmarTThermoelectrics半導(dǎo)體制冷片,,單極TEC,,多極TEC熱電模塊;

德國(guó)Jutec耐高溫手套,,隔熱手套,,熱防護(hù)服,;

美國(guó)AppliedImage公司圖像測(cè)試卡、ISO 測(cè)試卡 ,、圖像質(zhì)量分析軟件,、Bar Code條形碼校正;

還代理英國(guó)Laser2000,,德國(guó)Pleiger Laseroptik,,立陶宛Optogama,美國(guó)Precision Laser Scanning等廠家,;

 

油脂分析儀,,石油分析儀,激光眼鏡,,光學(xué)配件

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 10萬(wàn)-20萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

美國(guó)TMC主動(dòng)隔震臺(tái)


2Hz,,≥90%隔振效果!TMC隔振平臺(tái),,敏感儀器行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)解決方案


公司致力于高水準(zhǔn)TMC隔振臺(tái)系統(tǒng)的研發(fā)和制造,,為高精密和高穩(wěn)定性的科研領(lǐng)域以及工業(yè)生產(chǎn)提供所需要的條件。TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)從簡(jiǎn)單的桌面式隔振顯微鏡底座到大尺寸的光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)均有深入研究,。公司憑借具有數(shù)字控制器和壓電驅(qū)動(dòng)器的精密的主動(dòng)和慣性振動(dòng)消除系統(tǒng),。同時(shí)也讓TMC公司的主動(dòng)光學(xué)隔震系統(tǒng)成了諸如生命科學(xué)、半導(dǎo)體,、光子學(xué),、電子顯微鏡和計(jì)量學(xué)等科研領(lǐng)域和工業(yè)生產(chǎn)等敏感儀器對(duì)應(yīng)嘈雜環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)解決方案,深受歡迎和認(rèn)可,。TMC的產(chǎn)品使用為*的垂直集成制造工廠設(shè)計(jì)和生產(chǎn),,并且承諾為客戶提供優(yōu)良的全球服務(wù)。

TMC隔振臺(tái)的主要性能體現(xiàn)在于其減震的頻率范圍,,以及有效減震百分比,。TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)從0.6Hz開始具備減震效果,并且具有對(duì)2Hz以上的有效頻率范圍的震動(dòng)減震效可達(dá)90%優(yōu)良性能,。TMC公司的主動(dòng)光學(xué)隔震系統(tǒng)主要采用壓電主動(dòng)震動(dòng)消除,,對(duì)比傳統(tǒng)的空氣隔震,具有更優(yōu)異的性能,。TMC隔震系統(tǒng)的出現(xiàn),,使得許多高精度和穩(wěn)定性要求的實(shí)驗(yàn)和儀器運(yùn)用成為可能,同時(shí)也促進(jìn)了主動(dòng)隔振臺(tái)行業(yè)的技術(shù)革新,。TMC隔震臺(tái)的“剛性”式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動(dòng)敏感型儀器的理想選擇,,它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。

 

TMC隔振臺(tái)的主要特點(diǎn):

-始于0.6Hz的隔振

-2Hz開始的主動(dòng)減振效果可達(dá)90%優(yōu)良的隔振效果

-高靈敏度,,低頻慣性速度傳感器

-沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性

-特別的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)

 

TMC隔振臺(tái)的主要應(yīng)用:

-聚焦離子束隔振

-掃描電子顯微鏡隔振

-超精密儀器和機(jī)械設(shè)備隔振

-半導(dǎo)體工業(yè)隔振

-小型雙光束儀器隔振

-高大工具的建筑地面振動(dòng)隔離

-*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻,、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備的震動(dòng)隔離

 

TMC STACIS Ⅲ:          

STACIS III是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng),。STACIS采用*的慣性振動(dòng)傳感器、*的控制算法和*的壓電致動(dòng)器,,通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng),,然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運(yùn)動(dòng),以實(shí)時(shí)消除振動(dòng),。STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020,。這款全新的高級(jí)控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口,,為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI),。STACIS在全球已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例,是理想的隔振系統(tǒng),,適用于對(duì)振動(dòng)為敏感的儀器,。

STACIS Quiet Island

       半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心,、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起,,以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求(管道、電纜,、燃?xì)夤艿赖龋┖捅3謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn),。這種地面不適用于對(duì)振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測(cè)和計(jì)量設(shè)備,。活動(dòng)地面無(wú)法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境,。TMCQuiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島”替換一部分活動(dòng)地面區(qū)域,,提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺(tái)頂部和一個(gè)應(yīng)用和現(xiàn)場(chǎng)特定的支撐結(jié)構(gòu),。

SEM-Base Ⅵ:

              SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品,。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能,、更快,、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面(GUI)。

TOOL-Base:

      TOOL-Base是一種*的主動(dòng)壓電地面減振平臺(tái),,用于超精密儀器和機(jī)械設(shè)備,。它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡(SEM)更大或更重的儀器,而且設(shè)備有高度限制,。

              TOOL-Base不局限于單一的配置,,而是可以被設(shè)計(jì)成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配,。此外,,它的容量可以與有效載荷的質(zhì)量相匹配,。

TOOL-Base優(yōu)勢(shì):

-硬安裝技術(shù):TOOL-Base是帶有內(nèi)部氣動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng)的理想工具,提供一個(gè)穩(wěn)定和堅(jiān)硬的平臺(tái),,以支持振動(dòng)敏感的工具,。

-主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 :TOOL-Base采用高靈敏度,低頻慣性速度傳感器,,以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減,,即使在安靜的地面上。

-采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì): 特別的串行設(shè)計(jì)和具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高功率壓電技術(shù)使得0,。6Hz開始的有源帶寬很寬,,并且在2Hz開始的主動(dòng)減振90%達(dá)到慣性主動(dòng)減振效果。

-配置靈活性:TOOL-Base的配置可以調(diào)整,,以適應(yīng)刀具的底座和高度要求


 

SEM-Base LP:

       SEM-Base LP是TMC標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base有源壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制低調(diào)版本,。相比SEM-BaseSEM-Base LP易于安裝,,提供出色的性能并經(jīng)過(guò)人體工程學(xué)優(yōu)化,。輕巧簡(jiǎn)便的改進(jìn),并不影響其功能——特別STACIS壓電技術(shù),,并具有與我們行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base VI相同的振動(dòng)消除性能,。

LaserTable-Base:

       LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,,光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐,。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的13 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng),。

TMC的STACIS通過(guò)結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,,可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)(空氣和STACIS)整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中,。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng),,這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì),,可互換,。它可以結(jié)合TMCGimbal PistonMaxDamp空氣隔振器或剛性,、非隔振支架,,具體取決于應(yīng)用要求。      

LaserTable-Base 規(guī)格:

-采用知識(shí)產(chǎn)權(quán)STACIS®技術(shù)

-主動(dòng)慣性消振系統(tǒng)

-消振從低于1 Hz開始

-加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器,,高達(dá)60微米,。

-6個(gè)主動(dòng)自由度

-由兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成,可實(shí)現(xiàn)佳隔振效果

-采用知識(shí)產(chǎn)權(quán)MaxDamp®空氣隔振器

-簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

-可選的擱板,,用于在工作臺(tái)下方安裝設(shè)備

-包括TMCDC-2020數(shù)字控制器


Stage-Base:

              TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案,,以滿足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng),。這些工具不但需要極其有效的消振性能,,它們還要求由平臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)能夠非常快速地穩(wěn)定,,以最大限度地提高工具吞吐量,。通過(guò)增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩(wěn)定時(shí)間,,進(jìn)一步提高吞吐量,,從而為移動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用提供主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)消除系統(tǒng)。

Stage-Base 450 規(guī)格:

-采用特別STACIS®技術(shù)

-采用高力,、加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器

-有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

-框架安裝設(shè)計(jì)

-6個(gè)主動(dòng)自由度

-可選的VCM前饋和/或反饋

-始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振

-響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的快速穩(wěn)定時(shí)間

-無(wú)軟空氣懸架

-通過(guò)USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數(shù)字控制器

-簡(jiǎn)單,、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效



美國(guó)TMC主動(dòng)隔震臺(tái)



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