瑞士安東帕高溫高真空超納米壓痕儀 UNHT3 HTV
- 公司名稱 深圳市科時達(dá)電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/2/21 19:13:47
- 訪問次數(shù) 220
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高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)
一臺真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀,，主要測量小載荷下納米尺度機(jī)械性能的測試系統(tǒng),，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT3 技術(shù)與的加熱功能結(jié)合,，可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測量解決方案,。
主要特點(diǎn) 新一代的高溫納米壓痕測試儀
環(huán)境條件下熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內(nèi)熱漂移 (< 3 nm/min)。
載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨(dú)立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合,，可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式,。
高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng)，允許在測量期間關(guān)閉初級泵,，使振動降至,。
的加熱控制系統(tǒng)（3 項(xiàng)待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖,、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱,，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。
符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)指標(biāo)
| 載荷 | |
|---|---|
| 載荷 | 100 mN |
| 載荷分辨率 | 6 nN |
| 本底噪音 | 0.5 [rms] [μN(yùn)]* |
| 位移 | |
| 位移 | 100 μm |
| 位移分辨率 | 0.006 nm |
| 本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
| 極限真空度 | 10? mBar |
| 溫度 | 800 °C |
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