全自動離子濺射儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/7 17:07:14
- 訪問次數(shù) 1938
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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控制方式 | 觸屏控制 | 樣品倉尺寸 | 直徑150mm*高度130mmmm |
樣品臺尺寸 | 直徑55mmmm | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
全自動離子濺射儀工作原理:
直流冷陰極二極管式,,靶材處于常溫,加負(fù)高壓1-3kv,,陽極接地,。當(dāng)接通高壓,陰極發(fā)射電子,,電子能量增加到1-3kev,,轟擊低真空中(3-10pA)的氣體,使其電離,,激發(fā)出的電子在電場中被加速,,繼續(xù)轟擊氣體,產(chǎn)生聯(lián)級電離,,形成等離子體,。離子以1-3kev的能量轟擊陰極靶,當(dāng)其能量高于靶材原子的結(jié)合能時,,靶材原子或者原子簇,,脫離靶材,,又經(jīng)過與等離子體中的殘余氣體碰撞,因此方向各異,,當(dāng)落在樣品表面時,,可以在粗糙的樣品表面形成厚度均一的金屬薄膜,而且與樣品的結(jié)合強度高,。如果工作室中的氣體持續(xù)流動,,保持恒定壓力,這時的離子流保持恒定,。高壓的功率決定了最大離子流,,一般有最大離子流限制,用于保護(hù)高壓電源,。
全自動離子濺射儀的操作:
一般工作距離可調(diào),,距離越近,濺射速度越快,,但熱損傷會增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn),,真空度越低,,I越大,濺射速度越快,,原子結(jié)晶晶粒越粗,,電子轟擊樣品(陽極)產(chǎn)生的熱量越高;真空度越高,I越小,,濺射速度越慢,,原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小,電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小,。
加速電壓為固定,也有可調(diào)的,,加速電壓越高,對樣品熱損傷越大,。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域,。
有些熱敏樣品,需要對樣品區(qū)進(jìn)行冷卻,,水冷或者帕爾貼冷卻,;也可以采用磁控裝置,像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品,。經(jīng)過這樣的改造,,當(dāng)然會增加很高的成本??梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬,,而沒有任何損傷,!
真空中的雜質(zhì)越多,鍍膜質(zhì)量越差,。一般黃金比較穩(wěn)定,,可以采用空氣作為等離子氣源,而其他很多靶材則需要惰性氣體為好,。
氣體原子序數(shù)越高,,動量越大,濺射越快,,但晶粒會較粗,,連續(xù)成膜的膜層較厚。
保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處,。
不要讓機械真空泵長期保持極限真空,,否則容易反油。