AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器,，在實(shí)機(jī)驗(yàn)證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力,。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射,、CVD,、PECVD、蝕刻等工藝中,，且具有優(yōu)秀表現(xiàn),。Cesar 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中,，具有成膜速度快,，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn),，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率,，具有十分廣泛的應(yīng)用。

AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格：

設(shè)備品牌：AE(Advanced Energy)

設(shè)別型號：Cesar 0230

AC 電源輸入：3 phase~ +PE,，200V~ ,，50/60Hz，20.0A

RF 射頻輸出：3000W,，~615V,，2MHz

通訊接口：RS-232，User Port,，Matchbox,，Diagnostic

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱