真空等離子清洗機VP-RS6采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術,，樣品腔容積6升，樣品腔不銹鋼材質,，兩路進氣,，中英文觸摸屏操作控制，頻率13.56MHz,，功率500W,，能對材料起到清潔、刻蝕,、活化,、改性的作用，滿功率運行3分鐘,，腔體溫度不高于45℃,，不損傷樣品，適用于晶圓去膠,、煤灰化,、碳毯（CF）,、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃,、石墨烯,、纖維、單晶硅片,、PET,、二氧化硅等幾乎所有材料PLASMA處理。

      廣州善準科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國廣州,，專注于真空等離子清洗機,、真空等離子處理儀、旋轉型真空等離子處理儀,、旋轉型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究,、開發(fā)和制造。善準人經(jīng)過多年的刻苦鉆研,，抽絲剝繭,，反復測試、成功獲得“一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）”等十項國家技術及軟件著作權,，成為國內掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率,，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家，應用此技術的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”,，補充國內技術空白,，性能比肩一線廠家；研發(fā)生產(chǎn)的旋轉型真空等離子處理儀和旋轉型等離子體低溫灰化儀成功推出,，進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位,；而回應市場需求，解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀,，則驗證了善準人與時俱進的研發(fā)能力和敢為人先的風格,；VS-Q系列石英管真空封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點,，是對石英管真空密封技術的重新定義,。