AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經過長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制,，在半導體濺射,、蝕刻、CVD,、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現,。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠實現對射頻輸出的精準控制,。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,，成膜速度快，效率高,，在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用,，能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計,，小巧便捷,，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數規(guī)格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 3001                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ ,，~208V/PE,，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W,，387V~

通訊接口：Control,，CEX

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa