化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機(jī)>FPPVA-GIGAbatch-310M 批量晶圓等離子體清洗機(jī),等離zi體去膠
FPPVA-GIGAbatch-310M 批量晶圓等離子體清洗機(jī),等離zi體去膠
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPPVA-GIGAbatch-310M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2022/10/30 9:59:40
- 訪問次數(shù) 704
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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批量晶圓等離子體清洗機(jī)采用pvatepla等離子體清洗和等離子體去膠技術(shù),其中GIGAbatch 310M是最小的批量晶圓等離子體處理機(jī),非常適合實(shí)驗(yàn)室和大學(xué)使用,。
批量晶圓等離子體清洗機(jī)特點(diǎn)
桌面版的基本結(jié)構(gòu),;
為第二個(gè)氣體管道提供空間
腔室可容納多達(dá)25個(gè)直徑為150 mm的晶圓,
可以作為石英舟中的一批晶圓,,也可以作為帶有特殊加載裝置的單一基板
各種配件可供個(gè)人配置
等離子體發(fā)射功率高達(dá)600W
批量晶圓等離子體清洗機(jī)原理
等離子體處理系統(tǒng)都遵循相同的等離子體產(chǎn)生原理:直接耦合真空室中大氣側(cè)的高頻激勵(lì),。進(jìn)氣口位于腔室的一側(cè),真空吸盤位于腔室的另一側(cè),。這種腔室?guī)缀谓Y(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了特別一致的工藝結(jié)果,。
批量晶圓等離子體清洗機(jī)使用新一代處理器、基于Linux的平臺(tái)作為操作系統(tǒng),,以及圖形用戶界面(GUI),。因此,可以手動(dòng)和全自動(dòng)控制工藝,,并通過MFC控制工藝氣體。在這個(gè)過程中,,所有參數(shù)都會(huì)寫入配方并存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中,。同時(shí),壓力,、氣體流量,、輸出等的當(dāng)前值顯示在顯示屏上,如果偏離目標(biāo)值,,則會(huì)觸發(fā)相應(yīng)的警報(bào),。
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