專為超大納米平板顯示器測(cè)量而設(shè)計(jì)的 自動(dòng)化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)

專為0LED, LCD和其他大樣品分析提供

全自動(dòng)的原子力顯微鏡解決方案

全自動(dòng)探針掃描器系統(tǒng)可用導(dǎo)電原子力顯微鏡的測(cè)量

Park NX-TSH業(yè)內(nèi)一個(gè)用于分析大于300毫米樣品的自動(dòng)化探針掃描器,。

?Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴(kuò)展了原子力顯微鏡設(shè)備的測(cè)量尺寸， ParkNX-TSH（龍門架設(shè)計(jì)平板式探針掃描器）可針對(duì)第八代及大于 第八代的所有大型平板顯示器進(jìn)行測(cè)量,。

? NX-TSH專為大型和重型平板顯示玻璃和二維編碼器設(shè)計(jì),，還配有用于導(dǎo)電原子力 顯微鏡和電學(xué)缺陷分析的微型探針站。

? Park NX-TSH 可掃描高達(dá) 100 |jmx 100pm （x-y方向）和15 pm（z方向）,。

?ParkNX-TSH有一個(gè)柔性卡盤,，可容納大于 300毫米的大型和重型樣品，專為OLED,、LCD 和其他大樣品分析而設(shè)計(jì),。

?將樣品固定在樣品臺(tái)上，并將安裝在龍門架上的探針掃描器移至 樣品表面所需的測(cè)量位置,。

?PNX-TSH探針掃描器系統(tǒng)克服了樣品尺寸和重量的限制,， 樣品會(huì)被固定在樣品臺(tái)上。

?PNX-TSH專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì),， 大樣品尺寸可以測(cè)2200 mm,。

?使用導(dǎo)電原子力顯微鏡， NX-TSH使用可選探針站測(cè)量樣品表面, 該探針站接觸樣品表面并向晶圓上的設(shè)備提供電流：

為大型納米級(jí)尺寸樣品測(cè)量提供解決方案

隨著對(duì)大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加, NX-TSH通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的 結(jié)合,，克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn),。

能獲得以下高分辨率圖像和數(shù)據(jù):

•表面粗糙度

•臺(tái)階高度

•關(guān)鍵尺寸

•側(cè)壁信息

原子力顯微鏡可提供的，以及非破壞性的納米尺度樣品測(cè)量方法

•ParkNX-TSH在研究OLED, LCD時(shí)候,，通過使用專有的龍門橋式系統(tǒng)可獲得可靠高分辨率的AFM圖像,，大大提高產(chǎn)率。

•用戶在使用ParkNX-TSH時(shí)候,，可獲得用于大型重型樣品如平板顯示玻璃和2D編碼器等的圖像和計(jì)量數(shù)據(jù),。

NX-TSH原子力顯微鏡技術(shù)

行業(yè)的低噪聲Z檢測(cè)器

我們的原子力顯微鏡配備了的0.02 nm低噪聲Z檢測(cè)器，從而達(dá)到精準(zhǔn)的樣品形貌成像,，無邊緣過沖,，更無需校準(zhǔn)。 使用ParkNX-TSH在為用戶節(jié)省時(shí)間的同時(shí)更能幫助用戶獲佳測(cè)量數(shù)據(jù),。

True Non-Contact™模式

True Non-Contact™^式是Park原子力顯微鏡系統(tǒng)的掃描模式,，通過在掃描過程中防止針尖和樣品損壞, 從而產(chǎn)生高分辨率和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。

更快速的Z軸伺服使得真正的非接觸式原子力顯微鏡有更精確的反饋

· 減少針尖磨損-長(zhǎng)時(shí)間高分辨率掃描

· 無損式探針-樣品接觸一?樣品受損小化

可滿足各種條件下,，對(duì)各種樣品都能夠進(jìn)行非接觸式掃描

接觸模式下,，針尖在掃描過程中持續(xù)接觸樣品；輕敲模式下,，針尖周期性地接觸樣品,，而在非接觸模式下針尖不會(huì)接觸樣品。因此，使用非接觸模式具有幾個(gè)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì),。由于針尖銳度得以保持,，在整個(gè)成像過程中會(huì)以高分辨率進(jìn)行掃描。非接觸模式下由 于針尖和樣品表面可以避免直接接觸,，避免損壞軟樣品,。

此外，非接觸模式可以感知探針與樣品原子之間的作用力,。探針接近樣品時(shí)產(chǎn)生的橫向力可以被檢測(cè),。 因此，在非接觸模式下使用的探針可以避免撞到樣品表面突然出現(xiàn)的高層結(jié)構(gòu),。接觸和輕敲模式只能 進(jìn)行探針底端力檢測(cè),，很容易受到這種撞擊傷害。

PaNX-TSH

創(chuàng)新性的原子力顯微鏡技術(shù)

具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100pmx 100pm柔性導(dǎo)向XY掃描器

XY掃描器由對(duì)稱的二維撓曲和高強(qiáng)度壓電疊層組成,，它小化的面外運(yùn)動(dòng)能提供高度的正交掃描,，用快的響應(yīng)來完成納米尺度上精確樣 品掃描。X丫掃描器的每個(gè)方向是都裝有兩個(gè)對(duì)稱的低噪聲位置傳感器,，在大的掃描范圍及大樣品掃描時(shí)能發(fā)揮高效的正交性,。

有低噪聲位置傳感器的15卩m高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測(cè)器代替了通常使用的非線性Z電壓信號(hào)，可為用戶提供高精度測(cè)量,。業(yè)界的低噪聲Z檢測(cè)器取代了所施 加的Z電壓作為形貌信號(hào),。標(biāo)準(zhǔn)Z掃描器由高強(qiáng)度壓電堆驅(qū)動(dòng)，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo),，具有高共振頻率,，可以實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的反饋。使用可選 的長(zhǎng)距離Z掃描儀,，大Z掃描范圍可從1 5卩m擴(kuò)展到40 pmo

自動(dòng)換針器(ATX)

ATX通過模式識(shí)別自動(dòng)定位針尖,，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。 激光光斑通過電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),。

自動(dòng)測(cè)量控制,，簡(jiǎn)易操作測(cè)量更精準(zhǔn)!

NX-TSH配備自動(dòng)化軟件，使用測(cè)量程序便可獲得精確的多點(diǎn)分析,，并對(duì)懸臂梁調(diào)諧、掃描速率,、 增益和設(shè)定點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,。

Park人性化設(shè)計(jì)的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測(cè)量值。

創(chuàng)建新的測(cè)量程序其實(shí)很簡(jiǎn)單,，從開始創(chuàng)建到能夠自動(dòng)化運(yùn)行只需大約10分鐘的時(shí)間,， 而對(duì)創(chuàng)建過的程序進(jìn)行修改的話也只需不到5分鐘。

電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

我們創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷,。

由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡,，因此可以 創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境,，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且 將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至低,。