SU8600 日立HITACHI掃描電鏡
- 公司名稱(chēng) 上海首放電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SU8600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/12/4 17:32:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 2617
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在線透過(guò)率測(cè)試儀,,位相差測(cè)試裝置,霧度儀,,色差儀,,烘箱,水質(zhì)分析儀,,眼鏡檢測(cè)設(shè)備
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
儀器種類(lèi) | 冷場(chǎng)發(fā)射 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車(chē)及零部件,綜合 |
日立HITACHI掃描電鏡
SU8600
高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
*設(shè)備照片包含選配項(xiàng),。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù),,同時(shí)還提升了高通量,、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。
特點(diǎn)
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,,也可獲得高分辨的圖像,。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號(hào)能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別,。
快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測(cè)器,,即使掃描時(shí)間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.
自動(dòng)化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程,。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,,如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置,、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等,。用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽,,將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序,。經(jīng)過(guò)調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量,、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù),。
靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器,提供靈活,、高效的操作空間,。6通道同時(shí)顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集,。
日立HITACHI掃描電鏡
技術(shù)參數(shù)
機(jī)型 | SU8600 系列 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子源,,支持柔性閃爍功能,包含陽(yáng)極烘烤系統(tǒng),。 | |
加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
探測(cè)器 | (部分為選配項(xiàng)) | 上探測(cè)器(UD) |
UD ExB能量過(guò)濾器,,包含SE/BSE信號(hào)混合功能 | ||
下探測(cè)器(LD) | ||
頂探測(cè)器(TD) | ||
TD能量過(guò)濾器 | ||
鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD) | ||
半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED) | ||
新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD) | ||
陰極熒光探測(cè)器(CLD) | ||
掃描透射探測(cè)器(STEM Detector) | ||
附件 | (部分為選配項(xiàng)) | 導(dǎo)航相機(jī),、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS),、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD) |
軟件 | (部分為選配項(xiàng)) | EM Flow Creater,、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下) |
樣品臺(tái) | 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(X/Y/R/Z/T) |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | X:0~110 mm | |
Y:0~110 mm | ||
Z:1.5~40 mm | ||
T:-5~70° | ||
R:360° | ||
樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑可達(dá):150 mm |
*減速模式下