一,、熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601 描述：

MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個(gè) Ni-Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi),。同時(shí)結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路,，非常適合 OEC廠商的泄漏檢測(cè)，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測(cè),，需要超低功耗,，長(zhǎng)壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級(jí)壓力控制,，需要功耗和尺寸的限制,，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入,。

二,、 熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601特點(diǎn)：

MEMS 傳感器遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力

測(cè)量范圍：0.0001~1000mbar,，可重復(fù)性
硅晶片上有加熱電阻,，并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
穩(wěn)定和長(zhǎng)的 MTBF（>30000 小時(shí)） ，基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗（<6mW）,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時(shí)間<50mS
對(duì)安裝位置不敏感
可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中

與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容

三,、 熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601應(yīng)用：

1.作為氣體濃度測(cè)量傳感器的應(yīng)用：

室內(nèi)外空氣中H2,、CH4、CO2,、LPG氣體監(jiān)測(cè)

•食品工業(yè)的過程控制（例如碳酸飲料中二氧化碳的測(cè)量）

•用于燃料電池的氫傳感器

•沼氣廠中CH4的測(cè)量

•檢測(cè)制冷氣體（CFC,、PFC、HFCs等）

•電子產(chǎn)品（例如潛水設(shè)備的氦氣控制）

•呼吸系統(tǒng)監(jiān)測(cè)（醫(yī)療）

•控制在惰性氣體下運(yùn)行的封閉系統(tǒng)中的泄漏（例如應(yīng)變計(jì),、硬盤質(zhì)量控制等）

2.作為真空度/壓力測(cè)量傳感器應(yīng)用：

•固定和便攜式分析儀器

•封閉系統(tǒng)（如動(dòng)能儲(chǔ)存系統(tǒng)）中的泄漏檢測(cè)和主要真空控制

•半導(dǎo)體行業(yè)使用的真空設(shè)備

•食品工業(yè)（真空包裝機(jī)）

一般來說,，皮拉尼微型傳感器占據(jù)的面積小，能夠集成到任何需要其控制的主要真空系統(tǒng)中（例如,，密封控制,、潛在腐蝕或意外開啟）

四、 熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601推薦的操作條件

MGSM2601 有 4 個(gè)分開連接的電阻：Rm1 和 Rm2 坐落在薄膜上和用于加熱/測(cè)量,； Rt1 和Rt2 坐落在傳感器的“冷部分”和用于溫度測(cè)量和補(bǔ)償,。對(duì)于在低真空的壓力測(cè)量,，恒定的
過溫度操作模式是被推薦的。 由于在一定范圍內(nèi)的壓力傳導(dǎo)率改變是重要的,， 能快速的取決于應(yīng)用,，這是好的方法避免傳感器的損壞。

儲(chǔ)存條件
溫度： -40~100°C
濕度： 0~100RH,，非冷凝

機(jī)械壓力測(cè)試
重力加速度：1000g, 0.2mS, 半正弦波
振動(dòng)：10g RMS,，正弦波：20~2000Hz