PT3000 等離子清洗機
- 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號 PT3000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/2/11 17:11:06
- 訪問次數(shù) 4608
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
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設(shè)備的優(yōu)點:
1、采用射頻電源,、自動匹配器,,一鍵式操控。
2,、低溫等離子體,,能量低、密度高,適合處理特殊材料,。
3,、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗,。
4,、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。
設(shè)備的參數(shù):
腔體材質(zhì) :鋁合金
供電電源 : AC220V,、1000W
濺射電壓:MAX 2500V
濺射電流:MAX 30mA
靶材尺寸:直徑57mm,,厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率: 0-300W可調(diào)
射頻頻率: 13.56MHz
真空度:≤100Pa
氣體路數(shù):2路
氣體流量:MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM(可調(diào))
控制: 觸屏
清洗時間:1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸:≤8寸
內(nèi)腔尺寸:226mm(長)*126mm(高)*224mm(深)
外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)
重量:≈38KG
真空泵:飛越ARV-4