科里奧利質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱(chēng) 格里機(jī)電(無(wú)錫)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/6 15:05:16
- 訪問(wèn)次數(shù) 1826
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 差壓式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體&液體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
科里奧利質(zhì)量流量控制器其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,,如擴(kuò)散,、外延、CVD,、氧化,、等離子刻蝕,、濺射、離子注入,;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器,。
在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無(wú)需預(yù)熱
四個(gè)過(guò)程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
科里奧利質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
1 | 量程范圍 | ?。?~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ,4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
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