日本島津氦質(zhì)譜檢漏儀MSE-2402/2403全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀（干泵外置搭載式）

采用非接觸式干泵為無塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng),。

性能和規(guī)格（MSE-2402/MSE-2403）

外形尺寸MSE-2402

外形尺寸MSE-2403

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體和平板顯示器制造

LED制造

鍍膜設(shè)備

制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件

低溫壓力容器

閥門氣密性

撿漏航空部件,，配件及系統(tǒng)

氦氣檢漏儀：安全、定量,、可重復(fù),。

日本島津氦質(zhì)譜檢漏儀是在真空條件下對(duì)泄漏探測和密封性檢驗(yàn)的理想解決方案。示蹤氣體氦氣是安全的,、小而輕的分子,，適合于探測小的泄漏。在真空檢驗(yàn)情況下,，氦氣的檢測范圍在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之間,。氦氣檢漏儀的泄漏檢測是極精準(zhǔn)、定量并且可重復(fù)的,。節(jié)拍時(shí)間短也是一大優(yōu)勢,。

手持式吸槍或噴槍通常是用氦氣檢測泄漏的方法。但也可以使用自動(dòng)泄漏的探測解決方案,，這種方法是獨(dú)立于操作者,，并提供相當(dāng)高的探測速度。整體泄露檢測的設(shè)計(jì)目的是為了獲得預(yù)定的質(zhì)量和組件的產(chǎn)量水平,。

與傳統(tǒng)的泄漏檢測方法相比,，例如如泡沫檢驗(yàn)或壓降方法，使用示蹤氣體的泄漏檢測方法具有提供額外數(shù)據(jù)的優(yōu)勢,。這些數(shù)據(jù)可用于改善生產(chǎn)工藝,，并成功地檢測到每一處泄漏。