DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
- 公司名稱 鄭州科創(chuàng)實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 鄭州高新技術(shù)開發(fā)區(qū)西三環(huán)283號(hào)大學(xué)科技園
- 廠商性質(zhì)
- 更新時(shí)間 2023/3/24 15:37:13
- 訪問次數(shù) 234
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 流量規(guī)格 | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) |
| 準(zhǔn)確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1 | 線性 | ±0.5% F.S. |
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕,、濺射等工藝,。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高,，響應(yīng)速度快,，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求,。
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕,、濺射等工藝,。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高,，響應(yīng)速度快,，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕,、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,，精度高,，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點(diǎn),，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
• 控制精度高,，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.),。
• 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec,。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng),。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,，實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm),、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,，*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求,。
技術(shù)參數(shù)
DS300C | |
| 類型 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規(guī)格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 0.5sec |
進(jìn)口壓力 | 240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃； |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
工作壓力 | 0.45MPa |
工作環(huán)境溫度 | （10～45）℃ |
輸入信號(hào) | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
輸出信號(hào) | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 |
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) |
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0,； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭,； |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭,； |
重量 | 1.2Kg |
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器
• 控制精度高,，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.),。
• 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec,。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng),。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,，實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔,、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,，*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。
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