CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器

憑借著在氣體分析,、生成和校準領域擁有三十年的經(jīng)驗,，使我們能夠成立Leman Instruments SAS，這是一家專門從事固體,、液體和氣體分析所涉及的科學設備模塊研發(fā),，生產(chǎn)和銷售的公司。公司主要生產(chǎn)地位于法國阿爾尚地區(qū),。主要產(chǎn)品包括實驗室氮氣發(fā)生器,，氫氣發(fā)生器，氧氣發(fā)生器,，零級空氣發(fā)生器等,。

百瑞科技（南京）有限公司是一家專注于為醫(yī)療實驗室等領域提供各類氣體發(fā)生器（包括氮氣發(fā)生器，氫氣發(fā)生器,，零級空氣發(fā)生器等）,，真空泵以及壓縮空氣成套設備解決方案的企業(yè)。公司先后與ekom醫(yī)療實驗室壓縮機生產(chǎn)商,，意大利Werther,，奧地利Metasys牙科設備制造商，以及丹麥flairmo,，德國INMATEC,，俄羅斯GRASYS，法國Leman Instruments等國外實驗室氣體發(fā)生器廠商機氣體分離系統(tǒng)廠商達成戰(zhàn)略合作協(xié)議,。公司代理銷售的氣體發(fā)生器,，氮氣發(fā)生器，氫氣發(fā)生器,，零級空氣發(fā)生氣,，牙科正負壓系統(tǒng)，空壓機成套設備以及后處理設備均滿足各種環(huán)境下的嚴苛需求，產(chǎn)品廣泛應用于石化,，制藥,，電子行業(yè)、以及各類實驗室等,。產(chǎn)品包括ekom dk50系列無油空壓機,，metasys hybrid系列牙科負壓抽吸泵，flairmo實驗室氮氣發(fā)生器等等,，廣泛用于醫(yī)院,，實驗室，食品行業(yè)等,。

在CVD的工藝中,，需要一種穩(wěn)定可靠的方法來供應超高純度的氫氣。

使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運輸?shù)臍錃饪杀苊庠阢@石合成過程中氫氣突然耗盡的問題,，并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢,，同時可以幫客戶節(jié)省長期的用氣成本。

氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數(shù)值,。因此,，氫氣鋼瓶中的氫氣需要進一步干燥才可使用，常用的方法是使用鈀凈化器,。

我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜,，上面只能吸附和解吸氫離子。那么只要非滲透膜完好無損,，系統(tǒng)中沒有任何泄漏,，氫氣的純度就可以得到保證。因此需要定期測試鈀膜完整性,，常用的方法是使用高真空,，并檢查真空狀態(tài)是否可保持，或用氦氣對系統(tǒng)加壓以檢查泄漏,。

但當使用鈀膜凈化氫氣時,，需要關注到的一個問題是“氫脆”。在某些條件下,，留在金屬中的氫離子會導致鈀脆裂,。這是進行真空泄漏測試或氦氣加壓測試的主要原因之一。同時,，保持真空可去除鈀中吸收的氫離子,，以避免氫脆。

若不使用鈀膜凈化,，其他的干燥技術同樣也可以產(chǎn)生超高純度的氫氣,，例如，Leman Instruments 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術生產(chǎn)的超高純氫氣，具有ppb水平含量的微量氧氣和水分,，而不存在“氫脆”對鈀凈化器造成損害這樣的風險,，避免了因為鈀膜損壞而導致的高昂的維護費用。

當然,，PSA凈化技術也不需要進行真空泄漏測試,，因為PSA技術相對于鈀凈化器來說是一種“滲透膜”，因此真空測試并不適用,，若進行真空測試，則可能會失敗,，用戶可能需要更改其驗證方法,。然而，明顯的優(yōu)勢是,，PSA通常具有更高的可靠性,，若發(fā)生故障，PSA凈化技術的維修成本也更低,。

結論

PSA凈化技術可應用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣,，從而避免使用鈀膜凈化技術的缺點。

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