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美國恩科優(yōu)N&Q系列光刻機4008

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料,、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,,是一家集研發(fā)、制造,、銷售為一體的企業(yè),。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品,;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口,;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等,。

本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料,、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā),、制造,、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品,;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易,、貨物及技術(shù)進出口,;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

品牌:恩科優(yōu)(N&Q

型號:NXQ400-8

產(chǎn)地:美國



恩科優(yōu)光刻機分為半自動和全自動兩大系列,。其中,,N&Q4000系列光刻機是以半自動系統(tǒng)為主。該系統(tǒng)*的操作性,,超高的分辨率,,均勻的光學(xué)系統(tǒng),現(xiàn)代*的接近式和接觸式光刻及超高的性價比,,使恩科優(yōu)光刻系統(tǒng)已經(jīng)被全國各地眾多著名企業(yè),、研發(fā)中心、研究所和高校采用,,并成為他們光刻系統(tǒng)的,;



二、技術(shù)參數(shù):

1,、芯片尺寸:5mm~200mm的圓片/方片和不規(guī)則碎片(支持對不規(guī)則碎片的特殊卡盤設(shè)計),;

2、曝光波長:350nm-450nm(其它波長可選配),;

3,、汞燈功率:350W/500W(其它功率可選配);

4,、分辨率:優(yōu)于0.5um,;

5、曝光模式:支持接近式曝光,,各種接觸式(真空接觸,、軟接觸,、硬接觸等)曝光;

6,、出射光強范圍:10mW/cm2~55mW/cm2@405nm,;

7、支持恒定光強或恒定功率模式,;

8,、曝光時間:0.1~999.9s

9,、對準(zhǔn)精度:雙高清彩色CCD + 雙高清彩色監(jiān)視器,,對準(zhǔn)精度可達到0.4微米內(nèi);

10,、掩膜尺寸:2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜轉(zhuǎn)換器),;

11、光強均勻性Uniformity

<±1% over 2 區(qū)域,;

<±2% over 4 區(qū)域,;

<±3% over 6 區(qū)域;

12,、雙面光刻:具備背面紅外對準(zhǔn)(IR BSA)和光學(xué)背面對準(zhǔn)(OBS BSA),,雙面對準(zhǔn)精度≤2μm

13,、電源:高靈敏度光強可控電源,。

可選型號:

NXQ400-6

NXQ400-8

NXQ800-6

NXQ8006 Sapphire

NXQ800-8


三、產(chǎn)品特點:

可選支持單面對準(zhǔn)和雙面對準(zhǔn)設(shè)計,;

高清晰彩色雙CCD鏡頭采用的分裂視場顯微鏡鏡頭(基于無限遠(yuǎn)修正的CCD鏡頭設(shè)計),;雙頭高清全彩物鏡(單視場或分裂視場可供用戶靈活選擇);

高清彩色雙顯示屏,;

全新氣動軸承導(dǎo)軌設(shè)計,,高精準(zhǔn),低磨損,,無需售后維護的,;

具有自動執(zhí)行楔形誤差補償,,并在找平后自動定位功能,;

操作簡易,具有支持多操作員同臺使用的友好操作界面,;

操控手柄調(diào)控模式的*設(shè)計,;

采用LED穿透物鏡照明技術(shù),具有對準(zhǔn)亮度,;

采用基于無限遠(yuǎn)修正的顯微鏡鏡頭架構(gòu),;

抗衍射反射的高效光學(xué)光路設(shè)計,;

帶安全保護功能的溫度和氣流傳感器;

全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度,;

設(shè)備穩(wěn)定性,,耐用性超高;





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