半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，故障率低，成本較低,，易維修

2,、高壓段功耗相對(duì)低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)合

3,、排氣路徑短,，減少反應(yīng)物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理,、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè),、半導(dǎo)體面板業(yè)制程

PS系列螺桿真空泵型號(hào)：PS80、PS160,、PS180,、PS602、PS902,、PS1302,、PS1802

PD系列螺桿真空泵型號(hào)：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng)，能使用在無(wú)冷卻水的系統(tǒng)環(huán)境

可提供符合ATEX標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品

變螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn)：

1,，運(yùn)行溫度低,，適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場(chǎng)合。                2,，運(yùn)轉(zhuǎn)功耗低,，適用于輕負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)合，更節(jié)能,。                        3,，運(yùn)行噪音更低，適用于運(yùn)行噪音低的場(chǎng)合,，如：貼合機(jī),，無(wú)塵室。

4,，相同長(zhǎng)度轉(zhuǎn)子,，抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求,。

真空壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鐘PS系列,、PD系列維修

維修步驟：

1、螺桿泵來(lái)料檢驗(yàn),，真空度,、運(yùn)行時(shí)間、振動(dòng)值,、驅(qū)動(dòng)器,、電氣參數(shù)。

2,、全部拆卸,，油污清潔，打磨,。

3 ,、按“螺桿泵維修處理通知單”更換所必需的零件,，如：軸承、軸套,、套筒,、密封圈、齒輪,，以確?？煽康膬?yōu)質(zhì)服務(wù)和泵浦使用壽命。

4,、泵的平衡,，利用平衡和分析設(shè)備，調(diào)試佳的狀態(tài),，以減少噪音,、振動(dòng)，延長(zhǎng)軸承壽命,。

5,、測(cè)試檢查，參照原廠參數(shù)檢測(cè),，結(jié)合客人實(shí)際要求與螺桿泵磨損

PMF半導(dǎo)體干凈系列

用途：Semi conductor,，Load lock，TFT-LCD,，Touch Panel,，Solar，Coating,，Plasma Process,，Drying Process，Degassing

PMF系列型號(hào)有PMF100,，PMF120,，PMF612

半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)