GTK150擴散泵高真空機組系統(tǒng)是由VRD-16前級機械泵,、擴散泵,、高真空閥、前級管路,，冷凝器,、高真空檢測系統(tǒng)（復合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設備。該機組的真空度可達到5X10^-3 Pa(即0.005Pa),，安裝方便,，操作簡單，易于連接,，性能可靠,，可廣泛用于表面分析、釬焊,、真空熱處理,、真空熔煉、加速器技術,、半導體設備,、等離子體技術、電真空器件的制造及真空技術各領域,。

一,、擴散泵高真空機組系統(tǒng)技術參數(shù)

1、機組輸入電壓：220V/380V

2,、波紋管：KF40*1000mm

3,、真空擋板閥：KF40

4、機箱尺寸：600*600*600mm

二,、擴散泵技術參數(shù)

三,、真空泵參數(shù)

四、復合真空計技術參數(shù)

ZDF型系列電阻/電離復合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-10電離規(guī))技術組合,，以完成1×10⁵~1×10^-4Pa連續(xù)測量與控制,。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術參數(shù)與性能特點。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式,。手動模式工作時,，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時,，首先電阻單元進入測量,，當電阻單元測量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時,，電離規(guī)燈絲自動被點亮(開啟)，并進入高真空測量,，實現(xiàn)了從大氣壓(常壓)到高真空的自動連續(xù)測量,。還增加了外設(PLC)開閉電離規(guī)功能，以實現(xiàn)電離規(guī)工作于真空環(huán)境,，以延長電離規(guī)工作壽命,。