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Zeta-300, D-600, P-170 KLA臺(tái)階儀
- 公司名稱 北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Zeta-300, D-600, P-170
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/8/30 14:19:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 580
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微納力學(xué)檢測(cè)系統(tǒng),，納米壓痕儀,、高溫原位納米壓痕儀，常溫原位納米壓痕儀,，納米拉伸儀,，臺(tái)階儀，形貌儀,，輪廓儀等,。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子 |
臺(tái)階儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介
KLA臺(tái)階儀
Zeta-300光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。Zeta-300繼承了Zeta-20的功能,，并增加了隔離選項(xiàng)以及處理更大樣品的靈活性,。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)和Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明,、由低至高的反射率,、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度,。
Zeta-300的配置靈活并易于使用,，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot™測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無(wú)限遠(yuǎn)焦距圖像,。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量,、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量,。Zeta-300也是一種高級(jí)顯微鏡,，可用于樣品復(fù)檢或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。Zeta-300通過(guò)提供全面的臺(tái)階高度,、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能,，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
主要應(yīng)用
1. 臺(tái)階高度：納米到毫米級(jí)的3D臺(tái)階高度,；2. 紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度,；3. 外形：3D翹曲和形狀；4. 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力；5. 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度,；6. 缺陷檢查：捕獲大于1μm的缺陷,；7. 缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測(cè)量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
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