LBIC 光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號 LBIC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/5/20 21:10:28
- 訪問次數(shù) 2164
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù),對樣品表面做快速掃描,。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到源表,,再顯示在軟件界面,用三維圖顯示樣品表面在同一個光強(qiáng)下電流分布,,以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布,。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)是用于檢測材料光電流強(qiáng)度分布的專用設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征,。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來,。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率,器件的電阻分布特征,,研究太陽能電池光生電流的不均勻性,,研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,以及光電材料界面,,半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等,。整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)包含光源(激光器或者連續(xù)光源),顯微鏡,掃描振鏡,,數(shù)字源表,探針臺和計算機(jī)軟件等,。激光通過掃描透鏡,,掃描振鏡,成像透鏡,,經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面,,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號通過探針引出至源表,,再通過電腦在軟件中讀出,,掃描時振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度,激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動,,軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示樣品的電流分布,。
LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
● 多路激光波長可選
● 樣品位置二維可調(diào),,實(shí)現(xiàn)快速換樣
● 整體探針位置二維可以移動,方便測試樣品的不同位置
● 樣品在靜止情況下實(shí)現(xiàn)mapping掃描,,消除電移臺的震動的影響
● 可視化和人性化軟件(測試區(qū)間位置通過框圖的方式選取,,實(shí)現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍)
應(yīng)用領(lǐng)域
● 納米材料
● 二維材料
● 晶圓分析
● 探測器光電性能檢測
● 面陣探測器pixel檢測
● 器件電荷生成的微區(qū)特性