FOM alphaSC 狹縫涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

• 豐富的可選配置以適應(yīng)客戶的需求：

• 涂布頭定位傳感器

• 高清攝像頭用于監(jiān)控涂布過程

• 多種固化功能（紅外、紫外,、熱風(fēng),、氮?dú)怙L(fēng)刀）

• A4 及更大面積的真空吸盤

• 涂布頭的常規(guī)材料為不銹鋼?？蛇x其他材料和合金（玻璃,、鎢、鈦）,。

• 金屬涂布頭表面可進(jìn)行Tantaline耐腐蝕涂層處理

• 涂布頭溫度在0-80℃內(nèi)可控

• 注射泵溫度可控

• 可與多種涂布方式聯(lián)用：如噴墨,、微型凹版印刷、刮刀涂布等,。

設(shè)計(jì)

直觀便捷的操作界面使得用戶得以自由的設(shè)計(jì)涂布工藝配方,。涂布橋架經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)精確安裝和涂布頭的快速定位,；經(jīng)減震的真空樣品臺(tái)則為基片提供一個(gè)平整的剛性支撐,；樣品臺(tái)在精密軌道上以設(shè)定速度移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)功能材料的精密涂布,。綜合諸多細(xì)節(jié)全盤考慮和不斷優(yōu)化才可能成功建立起一個(gè)穩(wěn)定可靠的多功能研發(fā)平臺(tái),。各涂布元件的有機(jī)整合保證了多個(gè)涂布批次間的高可重復(fù)性，器件性能的高可比性 ,，以及產(chǎn)品質(zhì)量的高穩(wěn)定性,。

機(jī)械素質(zhì)

該系統(tǒng)可選擇手動(dòng)或自動(dòng)定位涂布，以及手動(dòng)或電機(jī)控制的自動(dòng)高度和側(cè)移調(diào)整,，分辨率為1µm,。涂布速度在0.05到5.0m/min之間（無極調(diào)整）,。平行度設(shè)置和涂布頭平直度<1%，保證材料涂布時(shí)的精確度,。交叉定位精度<100µm,。涂布頭多次拆裝維護(hù)后依然可保證高度（涂布頭與基材間隙）可重復(fù)性，從而保障批次可重復(fù)性,。Metapor (TM) 真空吸盤面積為大于A4尺寸,；平整度優(yōu)于20µm；加熱溫度可達(dá)150℃,，全表面溫度均勻性可達(dá)<1℃,。

易于實(shí)驗(yàn)重復(fù)和配方調(diào)用

該系統(tǒng)使用戶可以以高度可控，可預(yù)測(cè)的方式進(jìn)行高精度功能薄膜的重復(fù)涂布,，幫助研究人員深入理解精密涂布過程中的各種變量,。