雙電測四探檢測儀RT-S9

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的,。

是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,。測試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊,。

    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

 測量范圍       電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； 

 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展),；

 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；

 電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片厚度         ≤3mm

可測晶片直徑         140mmX150mm(配S-2A型測試臺),；

 200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；

 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源     電流量程分為1μA,、10μA,、100μA、1mA,、10mA,、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表     量程及表示形式：000.00～199.99mV,；　　　　

 雙電測四探檢測儀RT-S9分辨力：10μV,；

 輸入阻抗：>1000MΩ；

 精度：±0.1% ；

 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性、超量程自動(dòng)顯示,；

四探針探頭基本指標(biāo)     間距：1±0.01mm,；

 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

 機(jī)械游移率：≤0.3%,；

 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；

 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)     (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按JJG508-87進(jìn)行)      0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω,、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量最大相對誤差         (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度         ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口     并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境         溫度：23±2℃,；

 相對濕度：≤65%,；

 無高頻干擾；

 無強(qiáng)光直射,；