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日立分析儀器(上海)有限公司

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PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

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蘇州英蒔特儀器科技有限公司是一家專業(yè)的檢測儀器供應(yīng)商,、服務(wù)商以及實驗室整體檢測方案配套銷售的綜合性公司,坐落于交通便利的江蘇省昆山市,公司是由行業(yè)資深人士創(chuàng)辦并專注于代理國內(nèi)外廠商儀器,;
材料熱分析儀器,,熱重量法(TG)、差示掃描量熱法(DSC),、差(示)熱分析(DTA),、導數(shù)熱重量法(DTG)、熱機械分析(TMA)和動態(tài)熱機械分析(DMA)
材料成分檢測儀器,,氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS),、X熒光光譜儀(XRF)、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP),、液相色譜(LC),、傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR)
ROHS2.0實驗室建立,前期規(guī)劃與設(shè)計,、檢測方法介紹,、儀器選擇、耗材及售后維護等,,相關(guān)法律法律法規(guī)咨詢一站式服務(wù),。




紅外光譜儀器、X熒光光譜儀器,、GC-MS氣相氣質(zhì)儀器,、LC液相色譜儀器

價格區(qū)間 面議 儀器類型 實驗室型
儀器種類 紅外輔助設(shè)備 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子
檢測硅片大小 12寸

  PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)

  PIKE技術(shù)公司提供了全自動的分析配件半導體晶片。我們的MappIR和MAP300配件提供了EPI,、BPSG,、2-12英寸(50-300毫米)的氧和碳的分析。MappIR和MAP300的開發(fā)是為了為半導體行業(yè)提供負擔得起的自動化工具,,用于硅片的研究和質(zhì)量控制,。MappIR是開發(fā)用于分析8英寸(200毫米)和更小的半導體晶圓。MAP300是最初設(shè)計的更大版本,,它能夠處理12英寸(300毫米)的晶圓格式,。這兩種系統(tǒng)的操作、電子設(shè)備和軟件都是相同的,。

  MappIR和MAP300附件安裝在FTIR光譜儀的樣品室中,。半導體晶圓由彈簧加載的Delrin固定夾固定,從不與附件的鋁級接觸,。提供了一個標準尺寸的真空或機械棒的插槽,,以方便晶圓處理。每個晶片由步進電機按照系統(tǒng)操作員預先編程的順序旋轉(zhuǎn)/或翻,。

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  完整的硬件和軟件包的自動化,,多位置測量和映射的半導體晶圓8英寸(200毫米)和12英寸(300毫米)的半導體晶片處理。可選的插入物為晶片尺寸從2到12英寸EPI,、BPSG,、氧和碳的測定分子光阻和透射采樣。標準用于消除大氣干擾的可凈化的附件USB控制器接口,。

  PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)

  為了通過紅外測量盡量減少對水蒸氣和二氧化碳的干擾,,附件的光路配有吹掃線,可以用干燥的空氣或氮氣進行吹掃,。晶圓清洗外殼,。附件由AutoPRO軟件控制,該軟件為多點晶圓分析(映射)提供了一個簡單的用戶界面,。多達320個點與8毫米梁和5毫米邊緣排除可以測量一個12英寸的晶圓,。軟件提供充足的存在性建立各種實驗。

  AutoPRO軟件包的優(yōu)點圖形化和智能化的用戶界面,,用以設(shè)置映射模式晶片尺寸的選擇,,紅外光束直徑和邊緣排除操作員可選擇或預的多點映射極坐標和/或笛卡爾坐標選項實時顯示實驗狀態(tài)具有保存和回憶各種實驗模式的能力用于宏/腳本的接口^和^^進口商數(shù)據(jù)的采集和處理工作由光譜儀提供軟件許多FTIR制造商提供專門的軟件包它將附件與光譜儀*集成起來。如果這樣有一個選項不可用,,AutoPRO可以由光譜儀的程序通過宏,。AutoPRO符合Windows當單獨運行時,它允許控制,,編程和附件的控制,。PIKE自動晶片配件兼容大多數(shù)商業(yè)FTIR光譜儀和軟件包。


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