介質要求

潔凈干燥無腐蝕性氣體

介質種類

空氣,、氮氣、氬氣,、二氧化碳,、氦氣、氫氣,、甲烷、氧氣等

量 程

(0...1, 3, 5) SCCM

(0...10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM

(0...1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50, 100) SLM

精  度

讀數(shù)誤差的^1%或滿量程誤差的^0.5%,，二者取最大值

分辨率

zui低^0.01SCCM

響應時間

≤0.7S

重復精度

±0.2%F.S

線性

±0.5%F.S

漏率
最大耐壓

1×10 ^-11   Pa·m3/sec He

10bar

環(huán)境條件

工作溫度

-20...60℃（低溫或高溫條件下試用需特別說明）

工作濕度

10%~90%RH（無結冰,，無凝露）

工作壓力

0...1MPa

儲存溫度

-20...85℃

電氣參數(shù)

供電電壓

DC8-24V，紋波 ≤50mV

功 耗

＜^1.2W（有屏幕）

＜^0.3W（無屏幕）

啟動時間

0.5s

預熱時間

<10ms

通信方式 模擬信號（電流、電壓）

電流信號

4...20mA (線性對應量程)

電壓信號

1...5V (線性對應量程)

模擬信號

RS485

數(shù)字信號（RS485）

接口類型

D-SUB 9針

通信速率

4800, 9600(默認), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200, 128000,

230400, 256000, 460800, 500000（可通過指令或者上位機修改）

協(xié) 議

RS485（默認Modbus-RTU,，可定制私有協(xié)議）

設備地址

1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)

最大節(jié)點數(shù)

250

機械參數(shù)

接頭類型

卡套：^8mm（默認）,、^12mm、^{3/8 inch},，快插：^6mm,，^8mm，其它可選

主體材質

底座：航空鋁合金,，外殼：鋼板鍍鋅

密封材質

FKM氟橡膠

重 量

0.5kg