化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>其它干燥設(shè)備>OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) OTF-1200X-50S-PE-SL
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/3/13 9:29:52
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2275
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紫外可見(jiàn)分光光度計(jì),,原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),,紫外分光光度計(jì),,氣相色譜儀,液相色譜儀,,電子天平,,旋光儀,熔點(diǎn)儀
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池 |
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產(chǎn)品特點(diǎn):
•一射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;
•可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫,;
•可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力;
•可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量,;
•可沉積各種材料,如SiOx,SiNx,,SiOxNy和(a-Si:H)等,。
加熱爐參數(shù):
•最高溫度:1100℃(<30min):連續(xù)工作溫度:1000℃:
•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控瀝精度:±1℃,;
•輸入電源:208- 240V AC,,功率:1.2KW:
•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,,可以提高加熱效率,,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵,;
•真空度可達(dá)10-2Torr,。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶(hù)可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC,, 50/60Hz,;
•氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;
• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置,。
產(chǎn)品尺寸和重量:
•尺寸:1500mm L'600mm W^1200mm H
•·凈重:160 kg
•運(yùn)輸重量:220 kg
質(zhì)保:
一年保質(zhì)期,,終身維護(hù),不包括爐管,,硅膠密封圈和加熱元件
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