半導(dǎo)體特氣應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié),；

狹義的“電子氣體”特指電子半導(dǎo)體行業(yè)用的特種氣體,，主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學(xué)氣相沉積、光刻,、刻蝕,、摻雜等諸多環(huán)節(jié)；

電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子,、微電子元器件的質(zhì)量,、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性,，對于半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。

由于半導(dǎo)體集成電路芯片更高性能,、更高集成度發(fā)展,，科技對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的凈化愈加關(guān)鍵和重要,。

電子氣體品種多,，純化方法一般多采用吸附(常溫、低溫),、精餾(古間歇精餾),、催化等方法。

現(xiàn)已有分析法：吸收法（鼓泡法）

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