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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>其它半導體行業(yè)儀器設(shè)備>分子束外延(MBE)>FPSEM-STE-EB71 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

FPSEM-STE-EB71 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

參考價1200000-1800000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌孚光精儀
  • 型號FPSEM-STE-EB71
  • 所在地上海市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/12/16 11:41:01
  • 訪問次數(shù) 816

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設(shè)備供應商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,,服務商,。
孚光精儀公司以精密光學技術(shù)為特色,以光學應用為宗旨,,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學技術(shù)產(chǎn)品在中國的應用和相關(guān)技術(shù)水平提升,。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術(shù)極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術(shù),。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設(shè)備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,,是用戶信賴的進口分析測試技術(shù)儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商,。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè),。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經(jīng)驗豐富的激光和光學技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗,。
以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務,!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術(shù)應用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學技術(shù)的實驗儀器)

服務和應用領(lǐng)域

生物光子學

生命科學

醫(yī)學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設(shè)

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機研發(fā)

航空航天

地球物理科學

地質(zhì)和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國,、德國,、英國,、法國,、意大利、奧地利,、瑞典,、捷克、立陶宛,、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū),。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進口服務,,為制造商提供高效出口服務,。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),,進出口等高貿(mào)易資質(zhì),,為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務,,并送貨到用戶地址,。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務供應商,。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品,。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業(yè)大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

離子能 20-300eV

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是按照“從實驗室到工廠”的方法設(shè)計的電子束鍍膜蒸發(fā)系統(tǒng),既適用于密集的研發(fā)活動,也適用于中試生產(chǎn)。
考慮到“提離”工藝的具體特點,,該電子束蒸發(fā)系統(tǒng)適用于直徑不超過200mm的單晶片以及安裝在球形型材支架上的3×∅3“或6×∅2”晶片的沉積,。
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點
•工藝室由不銹鋼制成,配有ConFlat密封件,、集成壁水冷卻和基于500 l/s強大離子泵的干式泵送系統(tǒng)
•系統(tǒng)設(shè)計在微波電子用半導體器件生產(chǎn)中得到了很好的驗證
•采用專門開發(fā)的“掩?!奔夹g(shù),厚度不均勻性在直徑達200 mm的基板支架上小于±2.5%
•通過在350-500mm范圍內(nèi)改變“基板到蒸發(fā)器”的距離來優(yōu)化材料消耗的能力,;特別是,,工作距離為350 mm時,黃金消耗量為3÷4 g/μm
•基于GaAs/InGaAs/AlGaAs和GaN/AlGaN的HEMT的接觸電阻分別為0.1~0.25和0.3~0.5 Om×mm(在STE RTA100系統(tǒng)中接觸退火后)
•開發(fā)了基于ITO薄膜的p-GaN透明接觸
•鋁沉積速率不低于60?/s
•W沉積速率不小于1?/s
從支架中心到鈦層∅180 mm(3×∅3''晶圓)的厚度分布,,在STE EB71(旋轉(zhuǎn),,“掩模”技術(shù))獲得,。
電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
沉積腔體內(nèi)剩余壓力:<5×10-7Torr
達到預處理真空的時間(<5×10^-8Torr):   不超過20min
離子束(離子能20~300eV): 可選配
加熱處理晶圓數(shù)量::500 (900可選)
沉積腔烘培溫度:   150℃
同事處理晶圓: 6個@2英寸,,3個@3英寸,1個@∅100mm,,∅150mm,,∅200mm
電子束蒸發(fā)陰極功率:6KW
加速電壓:8KV

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