大華DH模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)特點(diǎn)：

采用多層隔板設(shè)計(jì),，批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,，每爐可放數(shù)千個(gè)鏡片；

智能化PLC程序升溫程序,，真空程序,，CVD進(jìn)氣程序，操作簡(jiǎn)單方便,；

優(yōu)質(zhì)干式真空泵,，杜絕油液污染，可選擇國(guó)產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵,；

智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng),，適應(yīng)于氮?dú)狻⒁胰?甲烷,、氬氣,、空氣的通入和混合；

*的密封系統(tǒng),，泄漏率低,，長(zhǎng)期使用穩(wěn)定性高；

大華DH模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料：

主要用途

適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝,；

適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(zhǎng),；

可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝,；

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： DH-30-700（大華）

使用溫度： 650℃；

使用氣氛： 氮?dú)?、氬氣,、空氣、二氧化?/span>,、乙炔、甲烷,、合氣體,；

長(zhǎng)期使用：400-700℃；

波 動(dòng) 度： ±1℃,；

顯示精度： 0.1℃,；

均 勻 度： 容積30L；

進(jìn)氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計(jì)控制,，一路浮子流量計(jì)控制,；

升降系統(tǒng)： 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺(tái)；

控制系統(tǒng)：智能程序化PLC控制系統(tǒng),；

真空泵真空度： 極限真空1Pa,；

腔內(nèi)真空度：≤10Pa；

降溫要求：外置冷卻風(fēng)機(jī),，降溫階段強(qiáng)制降溫,；

整機(jī)功率： 18KW；

電 源 ： 380V, 50Hz,；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制

保護(hù)裝置： 過(guò)載,、過(guò)流、過(guò)壓保護(hù),，接地,，熱電偶異常報(bào)警，第二回路超溫報(bào)警保護(hù)裝置,；冷卻水溫保

力過(guò)載保護(hù),；

技術(shù)服務(wù)： 提供設(shè)備使用過(guò)程中的技術(shù)咨詢和支持，接到客戶故障通知3個(gè)工作時(shí)內(nèi)立即響應(yīng),。