德國PI應用掃描顯微鏡壓電工作臺

德國PI公司是精密運動和定位領域的*解決方案供應商,。

   PI不僅開發(fā)和生產各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性,，旋轉和垂直運動或不同軸的組合,。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

§ 低外形,、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 高動態(tài)直接驅動版本

§ 傳感器技術：價格實惠的應變片傳感器 或可實現(xiàn)更的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現(xiàn)更長行程

應用領域

§ 掃描顯微鏡

§ 高吞吐量顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 掩模/晶圓定位

§ 干涉測量

§ 測量技術

§ 生物技術

§ 顯微操縱

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣,。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障,。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍,。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器,，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,，且無接觸,。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護,、無摩擦、無磨損,，無需潤滑,。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感,。 它們真空兼容,，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量,，*不受驅動或導向元件的影響,。這樣可以實現(xiàn)較好的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 ,、快速響應控制,。

訂購信息

P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅動,，45 微米 × 45微米,，并聯(lián)運動，電容傳感器,，Sub-D連接器

P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動,，電容傳感器,，Sub-D連接器

P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米,，并聯(lián)運動,，電容傳感器，LEMO連接器

P-542.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米,，并聯(lián)運動，電容傳感器,，Sub-D連接器

P-542.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動,，電容傳感器,，LEMO連接器

P-541.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，應變片傳感器,，LEMO連接器

P-542.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米，應變片傳感器,，LEMO連接器

P-541.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，100 微米 × 100微米，不帶傳感器,，LEMO連接器

P-542.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米，不帶傳感器,，LEMO連接器 配件

P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架,，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

產品型號

PI (Physik Instrumente)P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅動,，45 微米 × 45微米,，并聯(lián)運動，電容傳感器,，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米,，并聯(lián)運動,，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，100 微米 × 100 微米,，并聯(lián)運動，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動,，電容傳感器,，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米,，并聯(lián)運動,，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，100 微米 × 100微米,，應變片傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng),，200 微米 × 200微米,，應變片傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米,，不帶傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米,，不帶傳感器,，LEMO連接器 配件 

PI (Physik Instrumente)P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

PI (Physik Instrumente)P-611.2S XY向納米定位系統(tǒng),，100微米 × 100微米,，應變片傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.20 XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米,，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZS XZ向納米定位系統(tǒng),，100微米 × 100微米，應變片傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZ0 XZ向納米定位系統(tǒng),，100微米 × 100微米,，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente)P-612.20L XY 向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米,，孔徑為20毫米 × 20毫米,，開環(huán) 

PI (Physik Instrumente)P-612.2SL XY 向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米,，孔徑為20毫米 × 20毫米,，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente)P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米,，直接位置測量,，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，100微米 × 100微米,，直接位置測量，電容傳感器,，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，250微米 × 250微米，直接位置測量,，電容傳感器,，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米,，直接位置測量,，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，800微米 × 800微米,，直接位置測量,，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，1500微米 × 1500微米,，直接位置測量，電容傳感器,，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，50微米 × 50微米，直接位置測量,，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米,，直接位置測量,，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，250微米 × 250微米,，直接位置測量，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，500微米 × 500微米，直接位置測量,，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米,，直接位置測量，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，1500微米 × 1500微米，直接位置測量,，電容傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，60微米 × 60微米,，不帶傳感器,，LEMO連接器 P-621.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米,，不帶傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，300微米 × 300微米,，不帶傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，600微米 × 600微米，不帶傳感器,，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器,，LEMO連接器  

德國PI應用掃描顯微鏡壓電工作臺