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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150

Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Centrotherm RAPID 150
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:15:34
  • 訪問次數(shù) 974

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公司自成立以來就一直專注于半導體,、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術(shù)服務,;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,,專業(yè)服務于混合電路,、光電模塊、MEMS,、先進封裝(TSV,、Fan-out等),、化合物半導體,、微波器件、功率器件,、紅外探測,、聲波器件、集成電路,、分立器件,、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案,。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX,、CAMTEK,、CENTROTHERM、SENTECH,、ENGIS,、ADT、SONOSCAN,、ASYMTEK,、MARCH、PANASONIC,、HYBOND,、OKI、KEKO等),,為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術(shù)服務打下了堅實基礎,。

 

半導體設備,微組裝設備,,LTCC設備,,化工檢測設備

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 電子

Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150

一、產(chǎn)品簡介

德國Centrotherm公司是國際主流的半導體設備供應商,,尤其在高溫設備領域,。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設備,,主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求,。

 

Centrotherm測溫系統(tǒng)適用于從室溫至高溫的廣泛區(qū)間。Centrotherm優(yōu)化的多區(qū)溫控系統(tǒng)結(jié)合可以獨立控制的加熱燈,,提供了出色的控溫精度和控溫重復性,。

此款設備配置手動裝載系統(tǒng),適用于研發(fā)以及小型的量產(chǎn),。

成熟的真空操作和氣體管理系統(tǒng)為多種應用提供了可控的氣體環(huán)境,。出色的性能和高度的靈活性,結(jié)合小的占地面積,,低的客戶擁有成本,,使c.RAPID 150成為一款最佳的手動RTP設備。

 

二,、典型應用

退火:一般退火,、接觸層(Contact)退火、源/漏退火,、勢壘金屬退火

硅化

氧化

摻雜活化

三,、產(chǎn)品特性

可在常壓或者真空(控壓)下工作

高度靈活性:適用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤

升溫速率約150 K/s


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