產(chǎn)品名稱：北京華測(cè)試驗(yàn)儀器四探針測(cè)試儀

產(chǎn)品型號(hào)：HCTZ-2S

品牌：北京華測(cè)

一,、產(chǎn)品介紹

HCTZ-2S北京華測(cè)試驗(yàn)儀器四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備,。于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī),、測(cè)試臺(tái),、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果,。

HCTZ-2S雙電測(cè)數(shù)字式四探針試驗(yàn)儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量,。利用電流探針、電壓探針的變換,，采用兩次電測(cè)量,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高了精確度,，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)研究等用途,。

四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。

測(cè)試程序控制四探針試驗(yàn)儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。

二,、四探針測(cè)試探頭

1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承,，量具精度的硬質(zhì)合金探針,，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動(dòng)，持久耐磨,，測(cè)量精度高,、重復(fù)性好。

A.探頭間距1.00㎜

B.探針機(jī)械游率：±0.3%

C.探針直徑0.5㎜

D.探針材料：碳化鎢,，常溫不生銹

E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆,。

2、手動(dòng)測(cè)試架

手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作,，可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試,，探針頭可上下移動(dòng)距離：120mm，測(cè)試臺(tái)面200x200(mm),。

三,、產(chǎn)品應(yīng)用

HCTZ-2S四探針試驗(yàn)儀采用四探針雙電測(cè)量方法,，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校,、科研部門,，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具,。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料,。液晶顯示，無需人工計(jì)算,，并帶有溫度補(bǔ)償功能,。采用精度高的AD芯片控制，恒流輸出,，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏,，軟件可保存和打印數(shù)據(jù),，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器可顯示電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度,、電導(dǎo)率，配備不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求,。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購,。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)
    1.TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)： 光耦與隔離無非是提高儀器的采集的抗擾處理,對(duì)于閃絡(luò)放電過程中的浪涌對(duì)控制系統(tǒng)的防護(hù)起不到任何作用,。
    2.本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置三個(gè)數(shù)字表,，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,，及時(shí)掌控測(cè)量電流,，一塊顯示2、3探針間的測(cè)量電壓，另一塊是顯示當(dāng)前1,、4探針測(cè)量使用的電壓,，可以適當(dāng)調(diào)整測(cè)量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測(cè)材料。

3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí),，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,，好地保護(hù)薄膜。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 ,，以及電流抗擾的屏蔽,。
    4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金，硬度高,、常溫不生銹,，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。本機(jī)如加配測(cè)量軟件,，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑,、探針間距的修正,，并計(jì)算,、打印出硅片電阻率,、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化,、徑向電阻率不均勻度,，給測(cè)量帶來很大方便。

5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件,，具備彈性的自定義功能,，可進(jìn)行電壓、電流,。

6.儀器通過USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接,，軟件可對(duì)四探針電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測(cè)量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式,，顯示變化曲線,，兼容性：適用于通用電腦

7.測(cè)試系統(tǒng)的軟件平臺(tái)hcpro，采用labview系統(tǒng)開發(fā),，符合導(dǎo)體,、半導(dǎo)體材料的各項(xiàng)測(cè)試需求，具備穩(wěn)定性和an全性，并具備斷電資料的保存功能,，圖像資料可保存恢復(fù),，支持的標(biāo)準(zhǔn)。兼容XP,、win7,、win10系統(tǒng)。

五,、軟件功能

具有試驗(yàn)電壓設(shè)置功能,；

可選擇試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

可選擇是否自定義或自動(dòng)試驗(yàn)

截止條件：時(shí)間/電壓/電流;

語音提示:可選擇是否語音提示功能。

統(tǒng)計(jì)報(bào)告：可自定報(bào)表格式

可生出PDF,、CSV,、XLS文件格式

分析功能：可對(duì)測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。大/小值,、平均值等,。

六、技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍

電  阻：1×10-4~2×105Ω,，     分辨率：1×10-5~1×102Ω

電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm,，  分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm

方  阻：5×10-4~2×105Ω/□，  分辨率：5×10-5~1×102Ω/□

數(shù)字電壓表

量程：20.00mV~2000mV

誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

數(shù)控恒流源

量程：0.1μA,，1μA,，10μA，100μA,，1mA,，10mA，100mA,1A

誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

四探針探頭

碳化鎢探針：Ф0.5mm,，直流探針間距1.0mm,，探針壓力：0~2kg可調(diào)

薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm,，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)

七,、注意事項(xiàng)

1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說明書,，規(guī)范操作

2,、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng),，水平放置,，垂直測(cè)量

3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源,，連接線無需經(jīng)常拔下,，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套,，避免人為斷針

華測(cè)儀器-四探針測(cè)試儀

華測(cè)儀器-四探針測(cè)試儀