日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計(jì)SC-10

?通過監(jiān)視殘留氣體成分,，可以監(jiān)視真空裝置的健康狀況，并可以立即發(fā)現(xiàn)異常,。
?用此一臺可以測量真空度（總壓力）和氣體成分（分壓）,。

SC-10智能真空計(jì)是我們開發(fā)的一種全新的自動真空計(jì)，可以測量殘留氣體成分和總壓真空,。
總壓力真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空,，當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí)，氣體成分的分壓會自動啟動,，并且可以測量約10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的壓力范圍內(nèi)測量氣體成分并檢查泄漏,，這是常規(guī)氣體分析儀無法做到的。

由于智能真空計(jì)可以測量殘留氣體的成分,，因此可以快速了解真空設(shè)備的聲音狀況,，例如排氣裝置中的水蒸氣泄漏和脫氣。下兩個(gè)圖顯示了同一設(shè)備的不同排氣數(shù)據(jù),，但在圖1中顯示了正常排氣,，其中水蒸氣是主要成分，并且確定了總壓力真空,，而在圖2中,，氮?dú)馐怯捎谛孤┰斐傻摹,？梢钥吹?，從下降的排氣開始大約5分鐘后，排氣停止了,，如果繼續(xù)排氣,，則大約10分鐘后，氮含量變得比水蒸氣大,，并且總氮含量下降,。壓力真空停止。通過使用智能真空計(jì),，您可以快速發(fā)現(xiàn)排氣異常及其原因,，而僅通過監(jiān)視總壓力真空是無法理解的。

使用智能真空計(jì)不僅可以發(fā)現(xiàn)泄漏,，還可以噴射氦氣或氬氣以找到泄漏的位置,。圖3顯示了在泄漏點(diǎn)上噴射氬氣時(shí)的智能真空計(jì)的數(shù)據(jù)，但是可以看到,，由于氬氣的增加和氮?dú)獾臏p少,，這里存在泄漏,。在停止泄漏之后，如圖4所示,，氮?dú)夂脱鯕鉁p少,，水蒸氣成為主要成分，并成為典型真空裝置的殘留氣體成分,。

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計(jì)SC-10

測定原理

SC-10通過測量總壓力的冷陰極壓力表的放電顏色來區(qū)分氣體成分,。通過利用光的顏色（波長）根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來測量該成分,。也可以在SC-10的光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長,。
由于氣體成分測定部設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會被真空中的氣體污染,，因此能夠不受污物的影響而進(jìn)行測定,。此外，冷陰極規(guī)沒有燈絲,，因此可用于堅(jiān)韌耐用的應(yīng)用,。