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AP160M 日本ace半導體自動調節(jié)壓力控制器

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壓力控制器

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日本農業(yè)檢測儀器、日本質構儀,、日本光學儀器,、二手儀器、測量儀器,、檢測儀器,、粉體儀器

應用領域 化工,石油,電子/電池,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥

日本ace半導體自動調節(jié)壓力控制器AP160M

半導體自動調節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設備

AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導體制造過程中使用的氣體,,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調節(jié)管道中的壓力,。由于它具有內置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器,。

最大控制壓力約為650kPa,,最大控制流速為100kPa壓差,有兩種接觸類型,,即500cc / min和3000cc / min,。通過通過脈沖寬度調制來控制比例電磁閥,AP160M模型可以提高響應度并消除滯后現(xiàn)象,,因此可以在大約1秒鐘內達到設定壓力,。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產品,氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成,,并且與惰性氣體,,腐蝕性氣體,危險氣體等所有氣體兼容,。除了半導體工藝氣體以外,,也是可能的。

日本ace半導體自動調節(jié)壓力控制器AP160M

規(guī)格

模型AP160M
主要用途對于半導體
目標氣體半導體工藝氣體就座氣體
入口壓力500kPa以下
耐壓小于1000kPa
壓力設定需要計算機等輸入的壓力設定值
控制方式比例電磁紙漿批發(fā)
控制壓力0-500kPa
最大流量當壓差為100 kPa時,,有兩種類型,,即500 cc / min和3000 cc / min。
響應時間1秒鐘達到設定值
輸入信號0 ?? 5VDC連續(xù)/關閉
R485
外部傳感器輸入(4 ?? 20A可能)
輸出信號報警輸出RS485.0-5VDC
管件1/4〃VCR等效
閥座泄漏10-6Pa ? m3 /秒以下
準確性±5kPa(在800kPaFS時)
電源電壓24VDC±10%
目前的消費200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結
面之間的外部尺寸寬36×深46×高60mm
壓力傳感器是(內置)
顯示設定裝置沒有裝備

 

 


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