氣氛型高溫探針臺(tái)

功能描述：

快速實(shí)現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫,，可在真空環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)，電學(xué)測(cè)試,，測(cè)試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放,。根據(jù)樣品材料，形狀不同可選擇探針,，插拔等多種安裝測(cè)試方式,。

氣氛型高溫探針臺(tái)   快速實(shí)現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué),，電學(xué)測(cè)試,，測(cè)試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料，形狀不同可選擇探針,，插拔等多種安裝測(cè)試方式,。氣氛型高溫探針臺(tái) 半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測(cè)試

氣氛型高溫腔參數(shù)：

①　溫度范圍：室溫-200℃；

②　標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì),；

③　控溫精度：±0.1k,；

④　真空度：10E-3Pa；

⑤　提供真空抽口*1,、氣體入口*1,、氣體出口*1、真空釋放口*1,；

⑥　匹配觀察窗,，插拔樣品卡，探針卡,，鱷魚(yú)夾,。

氣氛型高溫探針臺(tái) 半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測(cè)試

注：產(chǎn)品為定制，不同規(guī)格價(jià)位不同,，實(shí)際價(jià)格以溝通為準(zhǔn),！