化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>其它實驗室常用設(shè)備>其它實驗室設(shè)備>OTF-1500X-III-4CV 三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)
OTF-1500X-III-4CV 三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)
- 公司名稱 南京淳寅嘉生物科技有限公司
- 品牌 合肥科晶
- 型號 OTF-1500X-III-4CV
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2021/3/9 16:47:43
- 訪問次數(shù) 368
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池 |
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| 三溫區(qū)開啟式1500°C管式爐 | 工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃ 個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制，都可設(shè)置30段升降溫程序每個溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度為600mm爐管為高純剛玉管 爐管尺寸∶（標配）60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶（選配）800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC,，單相功率∶ 6.6KW 配有一對不銹鋼真空密封法蘭,，法蘭上帶有石英觀察窗口 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,，同時延長儀器的使用壽命,。 |
| 射頻電源 | 輸出功率∶5-500W±1% 射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%. 反射功率∶ 200W 匹配∶自動 射頻接口∶50 Ω，N-type 噪音∶<50 dB. 冷卻∶風(fēng)冷 電源∶AC 208-.240V;5060Hz
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| 防腐型真空計 | 輸入電源 24V,，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器） 測量范圍 3.8x10-5 1125 Torr. 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm）,，其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm（Lx WxH） |
| 真空系統(tǒng) | 采用TRP-12的雙旋真空泵，極限真空10E.3 Torr KFD25快接,，不銹鋼波紋管,，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連管內(nèi)真空可達10E-2 Torr |
| 質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng) | 四個精密的質(zhì)量流量計（精度15%）∶數(shù)字顯示,，自動控制． MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個混氣罐,，底部裝有泄廢液口. 4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體進氣口∶4個14NPS.出氣口∶4個 14NPs. 采用PLC控制流量計,，通過觸摸屏進行控制 |
| 溫控系統(tǒng) | 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,，可設(shè)置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦 |
| 外形尺寸 | 爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運輸重量∶ 1200lbs
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| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保,，終生維護 |
| 質(zhì)量認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認證 若客戶出認證費用,，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
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