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YAMATO等離子裝置

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杭州科瑞達(dá)實(shí)驗(yàn)器材有限公司致力于為高校,、科研機(jī)構(gòu),、企業(yè)研發(fā)提供一站式的服務(wù)。

公司在浙江省代理品牌產(chǎn)品如下:
日本大和科學(xué)YAMATO(雅馬拓):
滅菌鍋,、超純水機(jī)、噴霧干燥機(jī),、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,、冷凍干燥機(jī),、超聲波清洗機(jī)、超聲波破碎儀,、馬弗爐,、恒溫干燥箱,、攪拌器、振蕩器,、恒溫培養(yǎng)箱等系列,、等離子清洗機(jī),、清洗機(jī)等產(chǎn)品,。

美國奧豪斯系列產(chǎn)品:
離心機(jī)產(chǎn)品系列、搖床系列,、渦旋振蕩器系列、混勻器系列,、高通量生物樣品均質(zhì)器,、PH計(jì)等產(chǎn)品。

法國interscience產(chǎn)品:
均質(zhì)袋,、均質(zhì)器、液體分裝泵,、全自動(dòng)接種儀、菌落計(jì)數(shù)器&抑菌圈分析儀,、菌落實(shí)施培養(yǎng)及及自動(dòng)計(jì)數(shù)工作站,。
 

實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的相關(guān)儀器國內(nèi)外品牌均有,歡迎垂詢,!

YAMATO實(shí)驗(yàn)室系列:噴霧干燥器,,冷凍干燥機(jī),滅菌鍋,,干燥箱等,;AHOUS實(shí)驗(yàn)室系列:離心機(jī),,PH計(jì)等

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 石油,電子,航天,汽車,電氣

YAMATO等離子裝置,13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī),,搭載 RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置,。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,,以電子材料為中心,,可對(duì)應(yīng)多種用途。

特征:

  • 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果,。
  • 搭載高精度適配器,,高性能RF 電源,。
  • 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制,。

用途:

  • 硅晶圓的灰化及蝕刻
  • 基板表面污垢處理
  • IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
  • 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
  • 自然氧化膜·有機(jī)物去除
  • 界面活性處理
  • 表面污染物去除

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

V1000

V1000X

V1000XS

等離子模式

DP/RIE

高頻電源

13.56MHz

輸出功率

Max1000W

Max1000 & 1500W

有效電極尺寸

W280×D280mm

W300×D300mm

W400×D375mm

電極

平行平板

2段電極(獨(dú)立)

平板(多目的)

反應(yīng)氣體

聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)

真空泵(標(biāo)配)

約1000L/min

約1500L/min

1000 & 1500L/min

安全裝置

門檢測(cè)開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu),、緊急停止開關(guān),、溫度過升防止器等

 ---

PDC600小型,、多段式等離子清洗機(jī)。

用途:

  • 提高各種材料的粘接性,、表面改質(zhì)處理
  • 灰化,、蝕刻處理
  • 塑料封裝前處理
  • 印刷基板鍍層前處理
  • LED關(guān)聯(lián)部品處理
  • 電子部品清洗
  • 光刻膠剝離或表面殘留物去除
  • 光學(xué)、金屬,、機(jī)械部品等精密部件的清洗
  • 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
  • FCC對(duì)應(yīng)

特征:

  • YAMATO等離子裝置,600W的小型高輸出功率
  • 電極可選擇1·2·3段(采購時(shí)選)
  • 可處理縱型的試料收納盒
  • 可選擇RIE/DP模式(采購時(shí)選)
  • 數(shù)據(jù)記錄器(選配)
  • 適配點(diǎn)記憶功能(選配)

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

PDC610

等離子模式

RIE/DP(固定模式)

電極構(gòu)造

3段獨(dú)立平行平板(固定)

高頻輸出

Max600W

頻率

13.56MHz

控制·顯示方式

PLC·觸摸屏

反應(yīng)腔尺寸

W350×D270×H300mm

反應(yīng)腔材質(zhì)

A5052

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(Ar,、O2)

填充氣體

N2或干燥空氣

真空泵

油泵(約345L/分)·標(biāo)配

外形尺寸

W600×D722×H700mm

外裝材質(zhì)

不銹鋼

電源

3 相 AC200 50/60Hz 15A



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