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緊湊型質量流量控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,,位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園,孵化自山東大學,。公司以氣體質量流量計/控制器(MFC),、薄膜真空計(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發(fā),、生產和銷售為主營業(yè)務,,通過自主創(chuàng)新、產學研合作及成果轉化,、行業(yè)整合等手段,,實現(xiàn)快速發(fā)展,,助力國家半導體產業(yè)的發(fā)展。
公司現(xiàn)有發(fā)明Z利21項,,實用新型12項,,計量證書、CE認證,、TUV EMC認證,、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組,、算法構建了全鏈條技術能力,。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院,、山東大學,、中科院、復旦大學等科研機構以及國內儀器儀表企業(yè),,全力打造國內研發(fā)團隊,。
公司獲評國家高新技術企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè),,承建有青島市先進傳感器重點實驗室,、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構,,并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃,、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題,。

公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,,在青島、深圳,、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心,,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,,并提供專業(yè)的售前售后服務,。

 

 

 

質量流量控制器,質量流量計

應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工

MFC-E系列緊湊型質量流量控制器(MassFlowController)是一款專為氣體分析儀,、質譜儀,、配氣儀等行業(yè)所開發(fā)的一款高精度、低溫漂,、高可靠性的氣體質量流量控制器產品,。該產品配備有高精度流量傳感器、進電磁比例閥,、316L不銹鋼氣路座等,,具有精度高,、響應速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點,。操作使用方便,,可廣泛用于。輸出和控制信號包括:0-5V模擬信號和RS485數(shù)字通信方式,。

  緊湊型質量流量控制器產品應用于:半導體加工,、分析和環(huán)保、燃燒控制器,、真空技術、表面處理,、食品和制藥,、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比

  緊湊型質量流量控制器產品特點:
  溫度和壓力不敏感
  設計勁湊,,可安裝任意位置
  超快的響應速度
  良好的重復性和再現(xiàn)性
  可模擬采集,、控制或數(shù)字采集、控制





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