HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀
- 公司名稱 英格海德分析技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) HPR-80
- 產(chǎn)地 英國(guó) HIDEN
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/11/22 10:13:43
- 訪問次數(shù) 6417
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在線質(zhì)譜儀,殘余氣體分析儀,,重量法吸附儀,,高壓吸附儀,蒸汽吸附儀,,導(dǎo)熱系數(shù)分析儀,,質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行質(zhì)譜儀,電化學(xué)質(zhì)譜儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 100萬-150萬 |
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檢測(cè)限 | 5ppb | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
質(zhì)量數(shù)范圍 | 510amu | 最小檢測(cè)分壓 | 5E-14 mbar |
20年前,,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測(cè),如毒性氣體AsH3,、B2H6,、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI,、HF,、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3,、NF3等,。
20年來,,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析,,提供不同的解決方案,。
HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,,HCl,,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。
主要特點(diǎn):
1,、連接件電拋光工藝處理
2,、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級(jí)過濾四極桿
4,、檢測(cè)限可達(dá) 5 ppb
5,、QGA專業(yè)版定量分析軟件