化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實(shí)驗(yàn)爐>TFE-1200-50-220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
TFE-1200-50-220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽科冪儀器有限公司
- 品牌 科冪儀器
- 型號 TFE-1200-50-220
- 產(chǎn)地 經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)望客路科冪園區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/18 10:11:02
- 訪問次數(shù) 2166
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實(shí)驗(yàn)室反應(yīng)釜,,磁力攪拌反應(yīng)釜,,機(jī)械攪拌反應(yīng)釜,水熱反應(yīng)釜,,管式爐,,箱式爐,固定床反應(yīng)裝置,,催化劑評價(jià)裝置,,高通量光催化反應(yīng)器,單波長光源
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
內(nèi)部尺寸 | Φ80*220mmmm | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | ≤10℃//min |
儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合 |
最大功率 | 3KkW | 最高溫度 | 1200℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,,等離子體更穩(wěn)定,;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能,;與傳統(tǒng)CVD相比較,,生長溫度更低。
技術(shù)參數(shù)
型號:TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計(jì)溫度:1150℃(短期)
額定溫度:1100℃
推薦升溫速率:≤10℃/min
控制精度:±1℃
爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸:Φ80*220mm
加熱區(qū)長度:220mm
恒溫區(qū)長度:80mm
加熱元件:優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率:3KW
供氣系統(tǒng):
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm(可定制)
射頻電源:
①射頻功率:5-500W,;
②射頻頻率:13.56MHz,;
③匹配方式:自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng):雙級旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
外形尺寸:1250*510*810mm