qirui 電子束蒸發(fā)鍍膜機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海騏銳信息科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 qirui
- 產(chǎn)地 上海
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2020/11/1 0:07:22
- 訪問次數(shù) 3329
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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電子束蒸發(fā)鍍膜機
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術,。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜,??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn),,臺式設計,、軟件自動操控、高性價比,,非常適合實驗室科研使用,。
技術規(guī)格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,,6英寸,;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 電子束源:Telemark電子束源,,單袋或多袋電子束源可選;
- 熱蒸發(fā)源:多配置2套熱蒸發(fā)舟(選配),;
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇,;
- 泵:前級干泵,分子泵,;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,,高真空,支持多種樣品襯底(選配),;
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制,、數(shù)據(jù)處理、遠程支持,;
- 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),,光學監(jiān)測,殘余氣體分析,,其他原位監(jiān)測技術或控制,;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式,;
- 襯底夾具:加熱,,冷卻,,偏置,旋轉等,;