七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計(jì)CS系列
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專(zhuān)門(mén)為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,，采用了基于DF的壓力信號(hào)補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝,，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn),，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng),。

 優(yōu)勢(shì)
• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度,，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.,，響應(yīng)時(shí)間下限快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能,，對(duì)前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償,，減少壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,。
• 采用的恒功率傳感器原理,，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,，保證了傳感器線(xiàn)性,。
• g端產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下,，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。

七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計(jì)CS系列汽車(chē)電子
        在汽車(chē)裝飾鍍膜,、汽車(chē)噴涂,、零部件制造中會(huì)對(duì)氣體進(jìn)行j準(zhǔn)控制，SEVENSTAR提供的產(chǎn)品可以滿(mǎn)足汽車(chē)工藝中對(duì)氣體使用的嚴(yán)格要求,。

 石油化工
        SEVENSTAR提供耐高壓,、大量程的產(chǎn)品在石油冶煉、催化裂解等工藝中使用,，可滿(mǎn)足石化行業(yè)特殊環(huán)境的工作要求,。