*BROOKS流量控制器SLA5853

寬FS流量范圍，氣體的測(cè)量和控制,，<3ccm到2500 lpm（N2當(dāng)量）

精度：高達(dá)1200 lpm：±1.0%（20％-100％FS）1.0％±0.2％FS（低于20％F??S）

1200-2500 lpm：±1％FS包括線性度

業(yè)界*傳感器的穩(wěn)定性,，長(zhǎng)期漂移性能，每年< 0.2％

通過(guò)減少維護(hù)和消除周期調(diào)整,，增加系統(tǒng)的吞吐量

可達(dá)10個(gè)可選擇校正曲線存儲(chǔ)

彈性過(guò)程連接選項(xiàng)符合ANSI / ISA SP-76標(biāo)準(zhǔn)

簡(jiǎn)化了安裝和維護(hù)過(guò)程,，工作更加有效率

控制響應(yīng)：

軟啟動(dòng)可用于定制MFC性能，工藝要求,。

專有自適應(yīng)閥控制,，這保證了過(guò)程壓力的意外變化不會(huì)導(dǎo)致流量從設(shè)定值偏離

Brooks Instruments是專注于提供壓力測(cè)量?jī)x器的制造商，成立于1946年,，總部位于美國(guó)賓夕法尼亞州,，面積達(dá)到28000平方英尺。現(xiàn)在,，公司分設(shè)了多個(gè)不同的機(jī)構(gòu),，提供更加細(xì)致專業(yè)的儀器產(chǎn)品。本著為市場(chǎng)負(fù)責(zé)的原則,，其一直堅(jiān)持著在質(zhì)量把控方面一絲不茍的態(tài)度,，堅(jiān)決生產(chǎn)出高質(zhì)量、高度,、使用壽命長(zhǎng)的專業(yè)儀器,。產(chǎn)品可用于醫(yī)療、水,、化學(xué),、實(shí)驗(yàn)室、氣體、半導(dǎo)體,、太陽(yáng)能,、電子等行業(yè)。

*BROOKS流量控制器SLA5853

流量范圍：FS范圍100-2500 lpm

重復(fù)性：±0.20％

溫度敏感性

零：每攝氏度小于0.05％FS

跨度：每攝氏度小于0.05％FS

質(zhì)量流量控制器

SLA5850, SLA5851, SLA5853

質(zhì)量流量計(jì)

SLA5860,SLA5861, SLA5863

其他產(chǎn)品型號(hào)

BROOKS控制器S124Y059AAA